coulson的干冰清洗技术在芯片(半导体)制造行业中的应用是一种高效、精密且环保的清洁方法,尤其适用于对污染极度敏感、不能接触液体或化学溶剂、且需要避免物理损伤的精密设备和组件。以下是其在该行业的主要应用场景、优势和技术要点:一、 **应用场景晶圆制造设备维护与清洁:等离子体刻蚀/沉积设备腔室: 这些腔室(如反应室、气体喷淋头、静电卡盘边缘、腔壁、挡板)内部会积累聚合物、残留光刻胶、金属沉积物、副产物等顽固污染物。干冰清洗能有效去除这些沉积物,无需拆卸设备或使用腐蚀性化学品,***减少设备停机时间。化学气相沉积/物***相沉积设备: 类似刻蚀设备,腔室内部、喷头、加热器等部件上的薄膜沉积残留物需要定期去除。离子注入机部件: 清洁束流线、靶室、扫描系统等部件上的污染物。光刻机**部件: 清洁机台框架、导轨、防护罩等非光学**部件上的微粒和有机物(如润滑脂、指纹、环境尘埃),避免污染物迁移到**光学区域。注意:不能直接用于清洁极其精密的光学元件(如透镜、反射镜)。扩散炉管及舟: 清洁炉管口、石英舟等部件上的氧化物、掺杂剂残留等。航空仪表外壳用干冰清洗,去指纹与灰尘,不刮花表盘,保证仪表读数清晰。宁夏不锈钢干冰清洗哪里买
离子镀行业的离子镀膜机、真空室、工件架等设备易附着镀层材料残留、油污、粉尘等污染物,这些污染物会影响离子镀膜层的质量、附着力与设备运行稳定性。酷尔森干冰清洗凭借高效、无损的清洗特性,适配离子镀行业的清洗需求。在离子镀膜机真空室清洗中,干冰颗粒能彻底去除真空室内壁的镀层材料残留与油污,保持真空室的洁净度,避免污染物影响膜层的均匀性与附着力,保障镀膜产品的质量。对于工件架,干冰清洗能去除表面的油污与杂质,提升工件的装夹稳定性与镀膜均匀性,延长工件架使用寿命。在镀膜设备的电极与线圈清洗中,干冰清洗可去除表面的粉尘与氧化层。宁夏便携式干冰清洗生产商干冰清洗管道无二次污染更环保。

热处理设备清洁:应用对象: 热处理炉(气氛炉、真空炉、淬火槽)、料盘、工装夹具、淬火介质循环系统。问题: 炉膛内壁、辐射管、马弗罐上的积碳、油污;料盘和夹具上的氧化皮、淬火盐残留、油渍;管道内壁结垢。干冰优势: 有效去除积碳和油污,恢复炉膛热效率,保证炉内气氛纯净和温度均匀性。清洁料盘夹具确保工件定位准确和热处理效果。清理管道提高介质流动性和热交换效率。无水无化学残留,不影响热处理工艺。烟气处理与环保设备清洁:应用对象: 除尘器滤袋/滤筒、管道、风机叶轮、换热器、SCR/SNC反应器、消白烟设备。问题: 滤袋/滤筒堵塞;管道和风机叶轮积灰(有时粘性大);换热器表面结垢;催化剂模块堵塞。干冰优势: 在线清洁滤袋/滤筒效果***,延长滤材寿命,维持系统负压和通风量。高效去除各种粉尘和结垢,恢复设备效率。清洁催化剂模块保持其活性。无水,避免灰分板结更难清理。电气设备与控制系统:应用对象: 电机外壳、控制柜、配电盘、传感器(高温计、测厚仪等)、接线盒。酷尔森环保科技(上海)有限公司的干冰清洗设备可以解决上述问题。
封装模具与载板清洁清洁对象:塑封模具(型腔、浇道)、晶圆载板(Wafer Carrier)。污染问题:塑封过程中,环氧树脂(封装材料)会在模具型腔残留、固化,导致封装体出现飞边、缺胶;载板表面若有焊锡残渣、粉尘,会影响晶圆定位精度。干冰清洗作用:干冰的低温使残留环氧树脂脆化,轻松剥离模具死角(如型腔拐角、浇道狭窄处)的固化物,无需使用脱模剂(传统脱模剂可能污染芯片)。清洁载板表面的微小焊锡颗粒和粉尘,保障晶圆在测试或封装时的定位精度(误差需控制在 ±5μm 内)。半导体设备与洁净室维护半导体生产依赖大量精密设备(如光刻机、量测仪器)和 Class 1 级洁净室,其清洁直接影响生产稳定性:1. 精密设备部件清洁光刻机光学系统:清洁镜头表面的油污、粉尘(镜头精度达纳米级,任何污染都会影响曝光精度),酷尔森的干冰颗粒(1μm 以下)可在不接触镜头的情况下去除污染物,避免划伤镀膜层。自动化机械臂:清洁机械臂抓手(End Effector)表面的晶圆残留颗粒(如硅粉),避免对下一片晶圆造成二次污染。量测仪器探头:如膜厚仪、椭偏仪的检测探头,去除表面的有机污染物,保障量测数据的准确性(误差需≤0.1nm)。汽车喷漆系统清洗可使用干冰清洗技术。

玻璃行业的生产设备,如熔炉、成型模具、退火窑等,易附着玻璃液残留、粉尘与积垢,这些污染物会影响玻璃产品的成型质量、表面光洁度与设备运行效率。酷尔森干冰清洗针对玻璃行业的高温设备与产品特性,提供安全、高效的清洗解决方案。在玻璃成型模具清洗中,干冰颗粒能快速去除模具表面的玻璃残留与积垢,保持模具的型腔精度,保障玻璃产品的成型质量与尺寸一致性,且不会损伤模具材质,延长模具使用寿命。对于熔炉的耐火材料表面,干冰清洗能去除附着的玻璃液与杂质,恢复炉膛的保温性能与传热效率,降低能耗。在退火窑设备清洗中,干冰清洗可去除输送辊道与内壁的粉尘与积垢,避免这些污染物附着在玻璃表面,提升玻璃产品的表面光洁度,符合玻璃行业清洁生产的要求。干冰清洗切削液相关设备洁净度高。青海进口干冰清洗服务费
干冰清洗能高效去除树脂和脱模剂残留。宁夏不锈钢干冰清洗哪里买
电芯壳体与盖板清洁清洁对象:铝壳 / 钢壳内壁、盖板(极柱、防爆阀区域)。污染问题:壳体冲压或焊接后可能残留金属碎屑、切削液;盖板表面可能有油污、指纹或焊接飞溅物,若未去除,会污染电解液或导致封装密封不良。干冰清洗作用:高效剥离金属碎屑和油污,且不损伤壳体表面(尤其适配铝壳的阳极氧化层),避免传统水洗带来的水分残留(锂电生产需严格控制水分,水分会与电解液反应产生有害气体)。3. 焊接区域清洁(激光焊接 / 超声波焊接)清洁对象:极耳焊接点、盖板与壳体焊接缝。污染问题:焊接后易残留金属飞溅物(如铝渣、铜渣)、氧化层,若残留于电芯内部,可能刺穿隔膜引发短路;若附着于焊接缝,会影响密封性检测精度。酷尔森icestorm干冰清洗作用:精细去除焊接飞溅物和氧化层,且不损伤极耳(极耳厚度通常* 0.1-0.3mm)或焊接结构,保障焊接强度和后续密封性。宁夏不锈钢干冰清洗哪里买