南京无尘工业烤箱

下面为大家介绍一下石墨盘烤盘炉一.产品介绍真空烤盘炉是与MOCVD设备配套使用的炉体，炉内抽真空，被处理工件放置在炉膛内，采用清洗气体加热反应方式进行干式清洗（清洗气体：N2，H2）。主要用于有效清洗除MOCVD承受器（SiC涂层石墨盘或石英盘）上的氮化镓和氮化铝等，可达到有效清洁处理，提高制品质量的目的。二、设计特点1、后门设计热风电机2、降温时风机开启，同时两端降温封头开启，炉膛内产生如图所示的气体流向3、通过气体介质将隔热层内与水冷壁之间进行热交换，达到快速降温的目的三、技术指标1、使用温度：1450℃；比较高温度：1500℃；2、绝热材料：石墨纤维毯、石墨纸；4、加热元件：石墨加热棒；5、冷却方式：气冷+循环风冷降温；6、控温稳定度：2℃，具有PID参数自整定功能；7、炉膛温度均匀度：5℃（恒温1500℃）；8、气氛:可向炉膛内通入干燥、洁净、无油的高纯度氮气,纯度≥99.999%；9、极限真空:10-3torr级；10、抽气速率：空载下，30min达到10-2torr11、升温功率：170kW；12、升温速率：15℃/min（空载）；13、降温速率：1450℃至80℃,240分钟14、腔体尺寸：1000*1000*1000mm（宽*深*高）真萍科技为您提供定制各种尺寸工业烤箱。南京无尘工业烤箱

HMDS真空烤箱整机尺寸、真空腔体尺寸：1.内胆尺寸：650*650*650;450*450*450mm;300*300*300mm;2.载物托架：2块3.室温+10℃-250℃控温范围：温度分辨率：0.1℃温度波动度：±0.5℃4.真空泵：油泵或无油真空泵。真空度：133pa，5.加热方式：腔体下部及两侧加温。加热器为外置加热板（防止一侧加热使的HMDS液进入箱体内不能完本转成气态）6.可放2寸晶圆片或4寸晶圆片；6寸晶圆片；8寸晶圆片等。7.开箱温度可以由user自行设定来降低process时间（正常工艺在50分钟-120分钟（按产品所需而定烘烤时间），为正常工作周期不含降温时间（因降温时间为常规降温）。无锡工业烤箱多少钱一台使用工业烤箱能给人们带来便利吗？

电脑式洁净节能氮气柜主要应用于解决晶圆片的潮湿、氧化及被其它气体(ex阿摩利亚气体)破坏，解决探针卡潮湿及氧化问题解决光罩的受潮问题---黄光部封装的金线，解决液晶的受潮问题，解决线路板受潮问题。柜体规格、配备：1.左右双开门，3mm钢化玻璃，1mm厚不锈钢板，气密式隐藏锁把手。2.柜体密封高吸附力磁性胶条与柜体密闭，脚垫采高承载车轮及调整高低脚垫。3.附高载重不锈钢隔板，柜体加装高载重煞车轮。4.上掀式气密盖，方便FFU保养及维修。5.回风循环设计，单向氮气循环不产生紊流。6.背面气密开门式设计，方便洁净清理与保养。

折叠订做产能确定尺寸规格，满足生产需求，产能高，可以选择履带式工业烤箱。就是我们说烘干生产线，隧道炉，烘道。产能低的或者实验用的小型烤箱都可以选择加工定做。折叠温度选择比实际使用温度高10度即可。根据工艺要求，计算好实际要求的温差，以保证烘烤的效果。举例:如果使用温度是150度，220度，360度，440度，按比较高设计温度500度做。4个温度，如果是同一种产品。控制上比较好选用可控硅。不同的产品，使用时低温状态下，温差要稍微大一些。150度和220度的实际使用效果，没有低温烤箱好。使用中温500度烤箱，150度烘烤温差比低温250度烤箱要高2~5度。还得看厂家的设备质量好坏。烤箱分为低温(0-250度)、中温250-600度)、高温(600-1500度)超过1200度公司建议采用碳硅棒加热，完全可以根据产品的工艺要求选择。工业烤箱怎样使用？合肥真萍告诉您。

HMDS真空烤箱主要技术指标：1.机外壳采用冷扎钢板喷塑处理，内胆为不锈钢316L材料制成；加热器均匀分布在内胆外壁四周，内胆内无任何电气配件及易燃易爆装置。钢化、防弹双层玻璃门观察工作室内物体一目了然。2.箱门闭合松紧能调节，整体成型的硅橡胶门封圈，确保箱内高真空度。3.微电脑智能控温仪，具有设定，测定温度双数字显示和PID自整定功能，控温精确，可靠。4.智能化触摸屏控制系统配套日本三菱PLC模块可供用户根据不同制程条件改变程序，温度，真空度及每一程序时间。5.HMDS气体密闭式自动吸取添加设计，真空箱密封性能佳，确保HMDS气体无外漏顾虑。整个系统采用优良材料制造，无发尘材料，适用100级光刻间净化环境。6HMDS管路加热功能，使HMDS液体进入箱体的前端管路加热，使转为HMDS气态时更易。7.低液报警装置，采用红外液体感测器，能及时灵敏给出指令（当HMDS液过低时发出报警及及时切断工作起动功能）8.温度与PLC联动保护功能（当PLC没有启动程序时，加温功能启动不了，相反加温功能启动时，PLC程序不按正常走时也及时切断工作功能，发出警报）9.整个箱体及HMDS气体管路采用SUS316不锈钢材料，整体使用无缝焊接（避免拼接导致HMDS液体腐蚀外泄对人体的伤害）工业烤箱使用时要考虑什么问题？大工业烤箱销售价格

工业烤箱如何选择？合肥真萍科技告诉您。南京无尘工业烤箱

从所摆场地尺寸考虑如果工业烤箱是放置在楼层上,要考虑能不能进门、进电梯，一般有电梯都没什么问题。3使用工业烤箱需要注意的事项a.工业烤箱需安装在室内干燥及水平处，不同类型的工业烤箱有不同的配置，使用前请仔细阅读设备手册。准备好之后，可以放入样品，关闭箱门，然后打开电源，设置温度等。b.工业烤箱电源线上应安装一个与试验相匹配的电流空气开关，并应有接地线。不要随意拆下工业烤箱的侧门来改变电路。只有当试验箱出现故障时，才将其打开进行检查或通知生产商。温度达到标准后，可以关闭工业烤箱的高温开关，降低功耗，延长继电器的使用寿命。南京无尘工业烤箱

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