实验室常用的真空泵有机械泵、涡轮分子泵、真空计，离子泵、钛升华泵、低温吸附泵、吸氢气泵几种，正是这些不同种类的泵一级级地抽，才能达到超高真空状态。分子泵我们知道，空气是由大量的气体分子构成的，含量比较高的是氮气、氧气，还有少量的二氧化碳、氢气、水蒸气、稀有气体之类的。一个密闭容器中所含的气体分子越少，它的真空度就越高，因此我们抽真空的目的就是尽可能地减少腔体中气体分子的数目，这就是这些真空泵要做的事情。真空计是从真空计本身测得的物理量直接计算出(或得出)压力的仪器。国内真空计使用方法
工作原理与分类 根据物理效应差异，真空计可分为以下三大类： 力学性能类 原理：利用气体压力引起的机械形变或电容变化。 典型仪器：波尔登规（Bourdon）、薄膜电容规（测量范围：101325~133.32Pa）。 特点：适用于腐蚀性气体和可凝蒸汽。 热交换类（气体动力学效应） 原理：基于气体热导率随压力变化的特性，如皮拉尼真空计通过加热丝电阻变化推断压力（测量范围：5×10⁻⁴~1000Pa）。 典型仪器：皮拉尼电阻规、热电偶规。 带电粒子效应类 原理：利用气体电离产生的电流与压力成正比的关系。 典型仪器：热阴极/冷阴极电离规（测量范围：10⁻⁵~10⁻¹⁴Pa）。 特点：高精度但易受污染，需避免油蒸气。特殊真空计对比价大部分真空计的读数与气体种类和成分有关。
在真空镀膜机腔体内，真空计测量是一项关键技术，它涉及使用专为这一目的设计的仪器和装置，即真空计，来测定特定空间内的真空度。真空测量分为***真空计和相对真空计。***真空计直接测量物理参数以确定气体压强，如U型压力计和压缩式真空计，它们不受气体成分影响，测量准确度高，但在极低气体压强下直接测量变得困难。相对真空计则通过测量与压强相关的物理量，再与***真空计对比得出压强值，如放电真空计、热传导真空计和电离真空计等。这类真空计的测量准确度稍逊于***真空计，且结果可能受气体种类影响。在实际应用中，特别是在非校准场合，相对真空计更为常见。
真空计广泛应用于气体输送、管道液体及密闭容器中测量无腐蚀性、无危险、无结晶体、不凝固体的各种液体、气体、蒸汽等介质的压力大小。特别是在半导体制造、光伏产业、纳米技术研发、生物医学研究以及航空航天等领域，真空压力计发挥着至关重要的作用，为产品的质量控制和研发创新提供了有力支持。四、特点与优势高精度：能够准确反映真空系统的压力状况。稳定性好：在长时间使用过程中保持测量结果的准确性。操作便捷：特别是对于数字式真空压力计，直接读取数字显示的压力值，操作更为简单直观。应用范围广：不仅适用于科研和工业生产中的真空测量，也适用于真空设备的检测和维护。按照真空计测量原理所利用的不同的物理机制，可将主要的真空计分为三大类。
热偶真空计◇工作原理与测量范围热偶真空计使用热丝与热电偶组合间接测量真空度。其测量范围在10-2至103Pa之间。热偶真空计包含加热灯丝与热电偶，通过测量热偶电动势来确定真空度。在测量过程中，灯丝通以恒定电流，热量的部分会在灯丝与热偶丝之间传导。影响测量结果的因素热偶真空计的测量结果受气体种类及温度变化影响。此外，热丝可能会因氧化导致零点漂移，从而带来测量误差。因此，在进行测量时，需根据气体种类进行相应的修正，使用者应定期调整加热电流，并重新校正电流值。任何方法都有其一定的测量范围，这个范围就是真空计的“量程”。本地真空计检修
真空计可分为真空计和相对真空计两大类。国内真空计使用方法
1.安装前确认a.实际供电电压确保与压力变送器标牌上供电电压相匹配b.实际测量点的压力范围确保在本产品量程范围内c.实际需要的输出信号确保与变送器标牌上的输出相匹配d.现场过程连接与变送器提供的相匹配。2.安装说明a.变送供电电源确保为24VDC，应避免与大功率电缆近距离平行走线。b.用户不需要对真空计进行任何调整即可投入运行。在运行前检查安装、电气连接是否正确，检查无误后，接通电源投入运行。注意事项：NC610AS真空计属于压阻硅类真空计国内真空计使用方法
