真空计是用于测量真空度的设备，其工作原理及测量范围对于了解真空技术至关重要。在真空镀膜机的腔体内，真空测量是指利用专门的仪器和装置来测定某一封闭空间内的真空度。这些仪器或装置被称为真空计（或规管），种类繁多，常见的分类方式是根据其测量原理。直接通过测定物理参数来获取气体压强的真空计被称为***真空计，例如U型压力计和压缩式真空计。***真空计测量气体压强较为准确，不受气体成分影响。而相对真空计则通过测量与压强相关的物理量，再与***真空计对比来得出压强值，例如放电真空计、热传导真空计和电离真空计。相对真空计的测量准确度略逊于***真空计，且测量结果与气体种类相关。在实际生产中，除了真空校准外，相对真空计的应用更为***。 原理是把加于电容薄膜真空计上的压力变化产生膜片间距离的变化，即产生了电容的变化。品牌真空计试用
冷阴极真空计（ColdCathodeGauge，如潘宁计）原理：基于高压电场与磁场协同作用下的气体放电效应。结构包含两个阴极和一个阳极，外加轴向磁场。高压电场使阴极发射电子，电子在磁场中螺旋运动，增加与气体分子的碰撞概率，导致电离。电离产生的正离子被阴极捕获，形成离子电流，其大小与气体分子密度成正比。特点：量程：通常为10−6Torr至10−3Torr，适合中高真空。优点：无加热元件，结构简单、寿命长。对振动不敏感（适合航天等恶劣环境）。局限性：低真空下响应慢（需足够残余气体维持放电）。测量结果可能受磁场均匀性影响。本质区别总结类型**物理效应信号来源适用量程对气体种类敏感性皮拉尼计热传导效应金属丝电阻变化低真空至中真空高（需校准）热阴极电离计气体电离效应离子电流高真空至超高真空低（可忽略）冷阴极计（潘宁）高压电场+磁场放电效应离子电流中高真空低。 如何真空计操作通过被气体分子夺取的热量来计算压力的真空计被成为热传导真空计。
不同类型真空计（如皮拉尼、电离、冷阴极）的**区别在于其测量原理基于的物理效应不同，这些效应决定了它们的适用范围、精度、响应速度及对气体种类的敏感性。以下是具体分析：1.皮拉尼真空计（PiraniGauge）原理：基于热传导效应。传感器为金属丝（如钨或铂），通电后发热。气体分子密度（即真空度）影响热传导效率：高真空时，气体分子少，热传导主要依赖残余气体，金属丝温度较高，电阻增大。低真空时，气体分子多，热传导增强，金属丝温度降低，电阻减小。通过测量金属丝电阻变化推算真空度。特点：量程：通常为10
半导体管特性图示仪校准仪校准规范》征求意见稿发布 半导体管特性图示仪校准仪是校准半导体管特性图示仪的**校准仪器。目前主要有两种类型：阶梯归一化图示仪校准仪和阶梯采样测量图示仪校准仪。9月29日，全国无线电计量技术委员会发布了《半导体管特性图示仪校准仪校准规范》征求意见稿，并向全国的计量机构、科研院所等单位征求意见。该规范根据一系列计量准则制定，对仪器的术语、校准规范、校准方法等进行规范，有助于该仪器测量过程中规范使用，真空计保证测量数据的准确性。复合真空计-倒磁控管和皮拉尼，从5X10-9 mbar 至大气气压的宽广测量范围不会出现丝极烧毁的现象。
可以看出虽然我们已经抽到了超高真空，但是腔体内的分子数还是很多很多，这就是为什么我们要在超高真空条件下进行实验的原因。讲了这么多，不知道你有没有想过，我们是如何知道腔体内的真空度有多高的呢？度量真空的仪器——真空计是的，就像我们有温度计和湿度计一样，我们也有测量真空度的仪器——真空计。我们已经知道，真空度的高低是用压强大小来衡量的，因此，真空计也是通过测量压强的大小来反映真空度的。真空计根据其工作原理大致可以分为两类：一类直接测量压强的大小，称为***真空计，例如U型真空计、压缩式真空计；一类是通过测量与压强有关的物理量，间接标定压强的数值，称为相对真空计，例如热传导真空计、电离真空计。在实验室常用的一般是相对真空计。 真空计是从真空计本身测得的物理量直接计算出(或得出)压力的仪器。那种真空计图片
掌握常见的真空计种类有利于正确选择真空计类型。品牌真空计试用
《（自动）核酸提取仪校准规范》征求意见稿发布 真空计核酸提取仪，是应用配套的核酸提取试剂来自动完成样本核酸的提取工作的仪器。随着生物分子工作领域的飞速发展，相关分离纯化工作量也逐渐增加，对核酸提取仪的应用也更加***。基于此，全国生物计量技术委员会发布了《（自动）核酸提取仪校准规范》征求意见稿，并面向全国的并面向全国的计量技术机构、科研院所以及相关的行业企业征求意见。作为***发布的规范，它主要适用于（自动）核酸提取仪的校准。品牌真空计试用
