2025年关于《双活塞式压力真空计检定规程》征求意见稿发布 真空计双活塞式压力真空计由简单活塞系统、差动活塞系统、**砝码、校验器等组成。10月16日，全国压力计量技术委员会发布了《双活塞式压力真空计检定规程》征求意见稿，并面向全国的计量机构、科研院所等相关单位征求意见。本规程的修订引用了JJG99《砝码》检定规程文件，适用于测量范围为（-0.1——1）MPa的双活塞式压力真空计的***检定、后续检定和使用中检查。真空计（Vacuum Gauge），又名真空表，是测量真空度或气压的仪器。特殊真空计口碑好
普通型热阴极真空计的测量范围限定在1.33×10-1至1.33×105Pa之间。在高压强环境下，电子与气体分子的频繁碰撞导致电子流急剧增加，而低能碰撞则无法引发电离，进而影响离子流与压强之间的线性关系。另一方面，在极低的压强条件下（低于1.33×10-1Pa），高速电子产生的软X射线会引发离子收集极C的光电发射，从而引入与压强无关的电流，破坏离子流I+与气体压强之间的线性关系，使电离真空计无法准确测量真空室中的压强。选择合适的真空计是关键。工厂真空计工程测量真空计的种类有很多，适用范围也各有不同。
电阻真空计的原理与应用电阻真空计，作为热传导真空计的一种，其工作原理是利用测量真空中热丝的温度来间接获得真空度的大小。在低压环境下，气体的热传导特性与压强密切相关，因此，电阻真空计的关键在于如何准确测量温度参数并建立起电阻与压强的对应关系。该仪器的主要构成部分包括规管中的加热灯丝，通常采用电阻温度系数较高的钨丝或铂丝。电阻真空计通过测量热丝电阻变化来确定真空度，其结果依赖于气体种类且存在测量范围限制。测量范围通常在105～10-2Pa之间。
真空计是用于测量真空度的设备，其工作原理及测量范围对于了解真空技术至关重要。在真空镀膜机的腔体内，真空测量是指利用专门的仪器和装置来测定某一封闭空间内的真空度。这些仪器或装置被称为真空计（或规管），种类繁多，常见的分类方式是根据其测量原理。直接通过测定物理参数来获取气体压强的真空计被称为***真空计，例如U型压力计和压缩式真空计。***真空计测量气体压强较为准确，不受气体成分影响。而相对真空计则通过测量与压强相关的物理量，再与***真空计对比来得出压强值，例如放电真空计、热传导真空计和电离真空计。相对真空计的测量准确度略逊于***真空计，且测量结果与气体种类相关。在实际生产中，除了真空校准外，相对真空计的应用更为***。 按照真空计测量原理所利用的不同的物理机制，可将主要的真空计分为三大类。
冷阴极真空计（ColdCathodeGauge，如潘宁计）原理：基于高压电场与磁场协同作用下的气体放电效应。结构包含两个阴极和一个阳极，外加轴向磁场。高压电场使阴极发射电子，电子在磁场中螺旋运动，增加与气体分子的碰撞概率，导致电离。电离产生的正离子被阴极捕获，形成离子电流，其大小与气体分子密度成正比。特点：量程：通常为10−6Torr至10−3Torr，适合中高真空。优点：无加热元件，结构简单、寿命长。对振动不敏感（适合航天等恶劣环境）。局限性：低真空下响应慢（需足够残余气体维持放电）。测量结果可能受磁场均匀性影响。本质区别总结类型**物理效应信号来源适用量程对气体种类敏感性皮拉尼计热传导效应金属丝电阻变化低真空至中真空高（需校准）热阴极电离计气体电离效应离子电流高真空至超高真空低（可忽略）冷阴极计（潘宁）高压电场+磁场放电效应离子电流中高真空低。 使用电离规时，按电离真空计操作执行。特殊真空计口碑好
复合真空计-倒磁控管和皮拉尼，从5X10-9 mbar 至大气气压的宽广测量范围不会出现丝极烧毁的现象。特殊真空计口碑好
不同类型真空计（如皮拉尼、电离、冷阴极）的**区别在于其测量原理基于的物理效应不同，这些效应决定了它们的适用范围、精度、响应速度及对气体种类的敏感性。以下是具体分析：1.皮拉尼真空计（PiraniGauge）原理：基于热传导效应。传感器为金属丝（如钨或铂），通电后发热。气体分子密度（即真空度）影响热传导效率：高真空时，气体分子少，热传导主要依赖残余气体，金属丝温度较高，电阻增大。低真空时，气体分子多，热传导增强，金属丝温度降低，电阻减小。通过测量金属丝电阻变化推算真空度。特点：量程：通常为10特殊真空计口碑好
