1.更换SEM侧面板（如有必要）。检查隔离系统和SEM的所有电缆是否松动连接。检查并确保没有将SEM耦合到地面或其他振动源。2.将电源线插入控制器背面。翻转前面板上的“ON”开关。按红色按钮启用活动隔离。3.几秒钟后，使能LED指示灯将变稳定，指示系统已正确隔离。轻轻敲击SEM时，控制器上的红灯应短暂点亮然后熄灭。4.如果一个或多个指示灯持续亮起，或者在正常情况下指示灯不熄灭，或者如果点击不亮，则表明传感器过载。请仔细检查以下内容：没有任何东西触及模块，连接模块和SEM的所有电缆均松弛，并且已针对负载适当调整了模块。AVI系列可以在非常宽的频率范围内为原子力显微镜、非接触式表面轮廓仪等提供极好的隔振效果。光刻机隔振台超快激光系统防震台应用
LFS-3传感器在三个轴上测量水平和垂直加速度，频率约为0.2Hz。该传感器直接放置在地板上，与标准AVI/LP系统结合使用在前馈回路中，以提高极低频时的隔振性能。LFS-3可以被复装到现有的AVI/LP系统中。下面的图显示了在AVI/LP系统上测量的垂直和水平隔离（可传输性），其具有和不具有LFS。用AVI-200S/LP进行测量，增益设置为128（V）和150（H）。输入电压：115/230VAC，50-60Hz功耗：蕞大20瓦频率范围：0.2-20Hz尺寸传感器：255x245x107mm（长x宽x高）电源尺寸：265x155x73mm（长x宽x高）重量传感器：5.9kg供电重量：1.6kg应用：室内防护等级：IP20温度范围：5°C-40°C相对湿度：10–90%（5–30°C）光刻机隔振台超快激光系统防震台应用先进的主动式隔振系统“TS 系列” 将作为21世纪纳米技术的隔振技术基础。
手次使用AVI系统时，将前面板隔离开关设置为关闭（黑色旋钮熄灭）。打开电源。电源指示灯现在将点亮，16个显示LED将短暂闪烁。黄色启用LED将在约2Hz时闪烁。如果出现剧烈振动或把手放在桌面上，部分或全部LED将闪烁。打开电源约30秒后，您可以将隔离开关推到打开位置（黑色旋钮进入）。黄色LED现在将一直亮起，表示系统正在隔离。把手轻轻地放在桌面上。可能会有一个或多个LED亮起，表示过载。了解在不造成过载的情况下可以施加多少力。
TableStable生产的主动式微振动控制系统AVI是一款多功能的主动式防振系统，具有独力的防振单元和控制器。可能有多种变化，例如将其用作电子显微镜（SEM）的隔振台，或与光学平台结合使用的高性能光学实验台。特点：・通过主动控制没有共振点，可以防止低频范围的振动。・安装时不需要参数调整，安装后可以立即使用。-由于不使用空气弹簧，因此不需要空气弹簧。・振动状态一目了然。（可以目视观察控制器的每个LED闪烁单元的振动状态。）-加速度信号可以从外部输出。（通过将BNC连接器连接到示波器，可以看到活动对象正在正常工作。励磁箱允许将激励信号施加到TS隔离系统，以便该系统可以在任何方向上用作振动器。
AVI-400系列（负载：蕞多800kg）型号：AVI-400SLP，AVI-400MLP，AVI-400XLP系统形状：控制器与防振单元分离型主动控制范围：被动隔振范围200Hz以上确认防振状态：使用控制器背面的BNC连接器，外部连接，前面的8个LED指示防振状态尺寸：190×396×190×720×220×856×控制器尺寸：241×287×142毫米承重*800kg单位重量：约13kg；约19公斤，联络我们电源电压：95-240VAC，50-60赫兹耗电量：通常为18W工作温度范围：5℃〜40℃工作湿度范围10〜90％（5〜30℃）・10〜60％（30〜40℃）可选零件（1）装载板，石板，铸铁板*另行咨询选装（2）高刚性支架或高阻尼高刚性支架*单独咨询。传感器可以移动到任何所需位置。光刻机隔振台超快激光系统防震台应用
所有范围内为±5％。控制单元必须与相应的测量头一起使用！光刻机隔振台超快激光系统防震台应用
AVI200-XL的隔离始于1,2Hz，然后迅速增加至超过10Hz的35dB减少低频谐振可得到比普通的被动空气阻尼系统更好的性能AVI200-XL系统固有的刚性赋予其出色的方向性和位置稳定性AVI200-XL的出色性能包括所有六个方向水平和垂直振动模式AVI200-XL隔振模块不需要任何大型工具即可安装。我们努力提供一种简单，友好的概念-避免在安装出现中比较复杂的过程。技术指标：频率：1,2-200Hz负载范围：0-400公斤AVI200-M的基本配置包括两个单个承载模块和一个控制单元，蕞大可以负载400公斤。通过增加隔离模块的数量，可以轻松承受更高的负载。为了使AVI200-M适应用户特定的应用，可以按特殊顺序提供不同长度的单个模块。光刻机隔振台超快激光系统防震台应用
