使用AVI系统时，系统只能插入单独接地的插座。无论是在插座处，还是使用未接地的延长电缆，都不要断开此接地。如果您怀疑系统以任何方式不安全，请拔下插头并防止任何可能的意外使用。联系**近的服务中心。在打开此设备之前，请确保它连接到正确的电源电压。不要取下任何盖子或让任何金属物体进入通风槽。在取下任何盖子之前，断开电源。请向合格人员咨询服务。不要在可能的环境中使用。保险丝位于控制单元后侧的电源插座中。未先拔下电源线，不要试图更换保险丝。只能更换类型正确的保险丝。不要试图绕过保险丝。确保控制单元中的通风缝没有被覆盖，并且空气可以自由循环。堵塞狭缝可能导致过热，从而引发火灾。对于控制单元和隔离元件之间的连接，*使用提供的D-Sub 15电缆（m/f）。先进的主动式隔振系统“TS 系列” 将作为21世纪纳米技术的隔振技术基础。主动减振台隔振台电子显微镜STM
TS-150
TS-150结合了久经考验的技术特点和优雅且用户友好的设计
TS 150的隔离频率始于0.7 Hz，超过10Hz时迅速增加至40db
缺少低频谐振意味着比大多数常见的被动空气阻尼方法要好得多
TS系统的固有刚度赋予其出色的方向和位置稳定性
TS 150的出色性能包括所有水平和垂直共计六个方向的震动隔离模式
精确的**于载荷的自动高度调节机构即使在载荷发生重大变化后也能将顶板稳定在比较好工作水平
遥控器允许在外部将隔离开关“打开”和“关闭”
频率：0,7-1000 Hz
负载范围：0-150公斤
尺寸 ：400 x 450 x 78.5 毫米
TS-150结合了久经考验的技术***性和优雅且用户友好的设计。TS 150的隔离频率始于0.7 Hz，超过10Hz时迅速增加至40db缺少低频谐振意味着比大多数常见的被动空气阻尼方法要好得多。
TS系统的固有刚度赋予其出色的方向和位置稳定性。TS 150的出色性能包括所有六个平移和旋转振动模式精确的**于载荷的自动高度调节机构即使在载荷发生重大变化后也能将顶板稳定在比较好工作水平。遥控器允许在外部将隔离开关“打开”和“关闭”用户友好，实用的操作优势是创新建筑理念的结果。
TS-150的高度*为78.5毫米
TS-150的重量*为17.5千克 探针显微镜隔振台推荐厂家AVI系列产品在振动加速度上的隔振效果。
水平X轴方向上的振动传递衰减，在承重时10hz的频率以上时，比较大可以达到-40dB的衰减。隔振效率可以达到99%以上的效果。10Hz以上的频率正常情况下是30dB到40dB的衰减。
水平Y轴方向上的振动传递衰减，在承重时10hz的频率以上时，比较大可以达到-40dB的衰减。隔振效率可以达到99%以上的效果。10Hz以上的频率正常情况下是30dB到40dB的衰减。
AVI系列产品在振动加速度上的隔振效果。
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LFS
LFS传感器在三个轴上测量水平和垂直加速度，直到频率约为0.2Hz。该传感器直接放置在地板上，并与标准AVI / LP系统结合使用在前馈环路中，以提高非常低频率的振动隔离。LFS可以改装为现有的AVI-LP系统。
LFS-3的设计、制造和测试均符合测量和控制设备的安全规定，并满足EEC指令73/23的相关要求。系统符合EEC指令89/336（电磁兼容性）
每个单独的AVI元件必须连接到传感器后部的D-Sub15插座之一。LFS的实际位置并不重要，但它当然必须放置在支持AVI单元的同一表面上。将AVI单元的上D-Sub 15插座（诊断插座）连接到传感器。 TS-140的高度*为84毫米。
LFS-3传感器在三个轴上测量水平和垂直加速度，频率约为0.2Hz。该传感器直接放置在地板上，与标准AVI/LP系统结合使用在前馈回路中，以提高极低频时的隔振性能。LFS-3可以被复装到现有的AVI/LP系统中。下面的图显示了在AVI/LP系统上测量的垂直和水平隔离（可传输性），其具有和不具有LFS。用AVI-200 S/LP进行测量，增益设置为128（V）和150（H）。
输入电压：115/230V
AC，50-60Hz 功耗：比较大20瓦
频率范围：0.2-20Hz 尺寸传感器：255x245x107mm（长x宽x高）
电源尺寸：265x155x73mm（长x宽x高） 重量传感器：5.9kg
供电重量：1.6kg 应用：室内
防护等级：IP 20 温度范围 ：5°C-40°C
相对湿度：10–90%（5–30°C）
LFS-3可以被复装到现有的AVI/LP系统中。AVI隔振台电子显微镜SEM
HERZ在被动式隔振系统产品之外，补充了由瑞士Table Stable Ltd.开发的先进主动式隔振系统。主动减振台隔振台电子显微镜STM
LFS控制单元上的每个D-Sub15插座都有4个对应于AVI元件的开关输出，这些AVI元件以任意4个矩形方向（即平行或直角）放置，不允许其他方向。
面向LFS传感器的蓝色LED直立。将***个AVI元件连接到后面板上的12个D-Sub15插座中的任何一个。使用笔在位置A和D之间滑动开关。
传感器的位置:
传感器可以移动到任何所需位置。它可能位于负载下方或外部，但必须位于支持AVI元件的同一表面上。连接后，传感器与AVI单元的方向必须保持不变。
支承面刚度:
支承面的刚度很重要。水平传感器无法区分水平加速度和倾斜。因此，LFS和AVI元件所在的支承面必须尽可能坚硬，以便在附近移动时不会明显倾斜。倾斜将导致传感器输出饱和，隔离将失效。 主动减振台隔振台电子显微镜STM
岱美仪器技术服务（上海）有限公司创建于2002-02-07，注册资金 100-200万元，是一家专注磁记录、半导体、光通讯生产及测试仪器的批发、进出口、佣金代理（拍卖除外）及其相关配套服务，国际贸易、转口贸易，商务信息咨询服务 的公司。目前我公司在职员工达到11~50人人，是一个有活力有能力有创新精神的高效团队。公司以诚信为本，业务领域涵盖[ "半导体工艺设备", "半导体测量设备", "光刻机 键合机", "膜厚测量仪" ]，我们本着对客户负责，对员工负责，更是对公司发展负责的态度，争取做到让每位客户满意。一直以来公司坚持以客户为中心、[ "半导体工艺设备", "半导体测量设备", "光刻机 键合机", "膜厚测量仪" ]市场为导向，重信誉，保质量，想客户之所想，急用户之所急，全力以赴满足客户的一切需要。
