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德国LEICA徕卡晶圆和FPD检查显微镜LEICADM8000MLEICADM12000M是经典的INM100,INM200,INM300显微镜的较早换代产品产品特性●●徕卡的立体斜照明,可以快速检查晶圆表面的微小裂纹●所有物镜均带电子CODE,可被软件自动识别,刻度尺自动伸缩,无需自选●徕卡的超级暗场术背景更黑缺点一目了然●UV**辨率,可以快速直接观察到120纳米的线条●立体UV观察,可以对凸块,沟槽侧壁清晰地观察●大型载物台搭载:可用于400*300mm液晶基板,300mm晶圆***检查(DM12000M)●采用高NA的透射光聚光镜,图象更锐利●多种观察方式,多种照明方式,多种附件以满足不同应用要求●透射和反射照明可同时使用,极大提高液晶基板观察效果LEICADM8000MLEICADM12000M产品特点缩短检查用时,提高检查效率自动聚焦附件透射光检查照明**的自动聚焦附件可配合所有的反射光照明观察方式,甚至包括暗视场和微分干涉相衬观察。实现快速和精确的自动对焦,甚至观察方式转换时也能实时准确的找到焦面。两种照明装置可选,通用型及高数值孔径型。为FPD,MASK板检查提供合适的照明,并且可配备起偏镜,实现投射光简易偏光观察。用于汽车铸件孔隙率检测。
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