工业烤箱基本参数
  • 产地
  • 安徽合肥
  • 品牌
  • 合肥真萍电子科技有限公司
  • 型号
  • 齐全
  • 是否定制
工业烤箱企业商机

下面为大家介绍一下石墨盘烤盘炉

一.产品介绍

真空烤盘炉是与MOCVD设备配套使用的炉体,炉内抽真空,被处理工件放置在炉膛内,采用清洗气体加热反应方式进行干式清洗(清洗气体:N2,H2)。主要用于有效清洗除MOCVD承受器(SiC涂层石墨盘或石英盘)上的氮化镓和氮化铝等,可达到有效清洁处理,提高制品质量的目的。

二、设计特点

1、后门设计热风电机

2、降温时风机开启,同时两端降温封头开启,炉膛内产生如图所示的气体流向

3、通过气体介质将隔热层内与水冷壁之间进行热交换,达到快速降温的目的

三、技术指标

1、使用温度:1450℃;比较高温度:1500℃;

2、绝热材料:石墨纤维毯、石墨纸;

4、加热元件:石墨加热棒;

5、冷却方式:气冷 + 循环风冷降温;

6、控温稳定度:±2℃,具有PID参数自整定功能;

7、炉膛温度均匀度:±5℃(恒温1500℃);

8、气氛: 可向炉膛内通入干燥、洁净、无油的高纯度氮气,纯度≥99.999%;

9、极限真空: 10-3torr级;

10、抽气速率:空载下,30min达到10-2torr

11、升温功率:170kW;

12、升温速率:15℃/min(空载);

13、降温速率:1450℃至80℃,240分钟

14、腔体尺寸:1000*1000*1000mm(宽*深*高) 合肥真萍科技为您提供工业烤箱的详细介绍。哪里有工业烤箱生产厂家

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冷热冲击试验箱具有模拟大气环境中温度变化规律。主要针对于电工,电子产品,以及其元器件及其它材料在高温,低温综合环境下运输,使用时的适应性试验。用于产品设计,改进,鉴定及检验等环节。

温度范围

     指产品工作室能耐受和(或)能达到的极限温度。通常含有能控制恒定的概念,应该是可以相对长时间稳定运行的极值。一般温度范围包括极限高温和极限低温。一般标准要求指标为≤1℃或±0.5℃。

温度均匀度

     旧标准称均匀度,新标准称梯度。温度稳定后,在任意时间间隔内,工作空间内任意两点的温度平均值之差的较大值。这个指标比下面的温度偏差指标更可以考核产品的**技术,因此好多公司的样本及方案刻意隐藏此项。一般标准要求指标为≤2℃。

温度偏差

     温度稳定后,在任意时间间隔内,工作空间中心温度的平均值和工作空间内其它点的温度平均值之差。虽然新旧标准对此指标的定义和称呼相同,但检测已有所改变,新标准更实际,更苛刻一点,但考核时间短点。一般标准要求指标为±2℃,纯高温试验箱200℃以上可按实际使用温度摄氏度(℃)±2%要求。 哪里有工业烤箱生产厂家如有需要各种工业烤箱,欢迎致电合肥真萍科技咨询。

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电脑式洁净节能氮气柜主要应用于解决晶圆片的潮湿、氧化及被其它气体(ex 阿摩利亚气体)破坏,解决探针卡潮湿及氧化问题解决光罩的受潮问题---黄光部封装的金线,解决液晶的受潮问题,解决线路板受潮问题。

柜体规格、配备:

1.左右双开门,3mm钢化玻璃,1mm厚不锈钢板,气密式隐藏锁把手。

2.柜体密封高吸附力磁性胶条与柜体密闭,脚垫采高承载车轮及调整高低脚垫。

3. 附高载重不锈钢隔板,柜体加装高载重煞车轮。

4.上掀式气密盖,方便 FFU保养及维修。

5.回风循环设计,单向氮气循环不产生紊流。

6.背面气密开门式设计,方便洁净清理与保养。

电脑式洁净节能氮气柜主要应用于解决晶圆片的潮湿、氧化及被其它气体(ex 阿摩利亚气体)破坏,解决探针卡潮湿及氧化问题解决光罩的受潮问题---黄光部封装的金线,解决液晶的受潮问题,解决线路板受潮问题。

过滤系统:

2.1 EBM 电子式EC 马达控制无尘室**FFU。

2.2 镜面不锈钢结构体。

2.3 特殊导流风道设计,风压平均,可有效提供风量,降低噪音。

2.4 电路板控制模块,提供安 全保护装置,运转异常指示灯及控制干接点输出。

2.5 无段式风量调速器可任意调整风量大小。

2.6 滤网ULPA,0.12μm,99.9995%以上的过滤效果。

2.7 电力规格:单相220V 50Hz 0.95A,输出功率150W。

烤箱由箱体,电气控制柜,电加热,风道,尘埃物过滤,N2 进气排气等部分组装而成,结构合理,功能实用。

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高温钟罩炉设备规格及结构

炉膛结构 :采用多晶莫来石材料砌筑而成

外形尺寸:W1300×H2200×D1510 (mm)

一、热工系统

1.1额定温度 :1550℃

1.2限制温度 :1600℃

1.3加热元件: U 型硅钼棒

1.4加热功率 :16kW

1.5空炉保温功率 ≤8kW

1.6温区个数 :1 个

1.7控温点数 :1 点

1.8热偶 :B 分度

1.9程序**精度 :±2℃(大于 600℃,升温速率≤3℃/min)

二、气氛系统

2.1炉膛气氛 :2 路空气,流量计量程为 7~70L/min;每路流量可调节

2.2排气系统: 在炉膛顶部设置一个排气*囱,用于废气排放

三、传动系统

3.1传动方式 :升降式

3.2传动类型 :电动推杆传动

3.3容积 :20L  

四、冷却系统

4.1冷却结构 :无

4.2产品降温 :随炉降温

五、安全保护

5.1升、降、停按钮 :载料台的升、降、停控制

5.2报警指示:超温、断偶、过载、超程、偏差等声光报警

5.3设备安全升温速率 ≤5℃/min

六、温度控制系统

6.1温度测量:采用 B 分度热偶测量

6.2控制方式:高性能移相调压+SCR 晶闸管模块控制

6.3限温处理 :

6.3.1当测量温度超过设定的安全值时,断加热,并报警

6.3.2当测量温度超过目标温度达到限制偏差值时,报警

6.4控制仪表:采用进口智能调节仪控制。具有 PID 参数自整定、高 温上限报警、热电偶失效指示等多项报警保护功能 采用正厂**玻璃纤维公司出品的100K级高密度保温板填充,有效的防止了热能浪费。工业烤箱电烘箱接线.

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下面为大家简单介绍一下六腔体无尘烤箱。

本产品是参照GB/T11158-1989,GB2423,2-1989干燥箱技术条件及中国相关标准研究制造,广泛应用于电子液晶显示,LCD,CMOS,IC,医药实验室等生产及科研部门。

技术指标:

1 无尘等级:Class100:(符合FED-STD 209E标准:0.3um≤300个0.5≤100个)

2温度范围:+60℃~ +250℃(极限温度350℃)

3温度均匀性:±2℃(空箱测试)

4温度精确度:±1℃(空箱测试)

5设备型号规格:450*450*450;450*600*450;600*800*600;600*700*600;700*900*700;

700*1000*700;800*1000*800;800*1200*800;1000*1200*1000;

1000*1300*1000;1000*1400*1000; 哪里有工业烤箱生产厂家

合肥真萍电子科技有限公司位于合肥市经济技术开发区轩辕路89号。公司自成立以来,以质量为发展,让匠心弥散在每个细节,公司旗下洁净箱,干燥箱,高温无氧烤箱,隧道炉深受客户的喜爱。公司将不断增强企业重点竞争力,努力学习行业知识,遵守行业规范,植根于仪器仪表行业的发展。真萍电子凭借创新的产品、专业的服务、众多的成功案例积累起来的声誉和口碑,让企业发展再上新高。

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