TS特点:
◎在全部的6个自由度范围内,从0.7Hz到100Hz,TS系列产品提供优良的主动隔振性能。
◎当仪器装载时,高度调整会自动进行。
◎即使当负载偏离中心时,自动调平功能也能保持水准。当高重心的仪器被加载时,给予稳定性。
◎通过按下前方的按钮,系统可以锁定或者解锁。锁定功能可以防止在系统重新加载或传输中发生损坏。
◎前方的显示屏展示了在X,Y和Z方向的实际振动水平。
◎主动隔振也可以通过使用可选的远程控制箱来从外部启用或禁用 振动分析系统VA-2C是带有远程测量头的系统,可轻松测量三个正交方向上的加速度,速度或位移。光刻机隔振台联系电话

将手轻轻放在桌面上。上方区块中的一个或多个LED可能会亮起,指示过载。了解在不造成过载的情况下可以施加多少力。如果你现在在桌面上施加很大的力,所有过载灯都会亮起,并且隔离指示灯将闪烁几秒钟,表明系统暂时不再隔离,直到过载消除(待机模式)。
消除过载后,隔离灯应再次亮起,系统开始隔离。某些过载LED可能会亮起并持续几秒钟。即使在这个阶段系统正在隔离-但增益降低。严重过载后,系统可能需要半个小时分钟即可达到完全隔离,但通常只需要几秒钟。注意:在正常使用中,隔离开关可能会保持在ON位置(黑色旋钮在里面)。上接通电源后,黄色指示灯将首先闪烁,表明系统处于待机状态模式。大约30秒钟后,指示灯停止闪烁并保持点亮状态,表明系统处于隔离。
主动减振台隔振台可以免税吗AVI系列可以在非常宽的频率范围内为激光干涉计、微检测设备等提供极好的隔振效果。

AVI-产品参数:AVI-200系列(负载:**多800kg)
型号:AVI-200SLP,AVI-200MLP,AVI-200XLP
系统形状:控制器与防振单元分离型
主动控制范围:被动隔振范围200Hz以上
确认防振状态:使用控制器背面的BNC连接器,外部连接前面的8个LED指示防振状态
尺寸:120×396×130×636×130×856×
控制器尺寸:241×287×142毫米
承重:400kg
单位重量:约9kg
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电源电压:95-240VAC50-60赫兹
耗电量:普通9W
工作温度范围:5℃〜40℃
工作湿度范围:10〜90%(5〜30℃)・10〜60%(30〜40℃)
可选零件(1)装载板,石板,铸铁板*另行咨询选装(2)高刚性支架或高阻尼高刚性支架*单独咨询。
Table Stable生产的主动式微振动控制系统AVI是一款多功能的主动式防振系统,具有**的防振单元和控制器。
可能有多种变化,例如将其用作电子显微镜(SEM)的隔振台,或与光学平台结合使用的高性能光学实验台。
特点:
・通过主动控制没有共振点,可以防止低频范围的振动。
・安装时不需要参数调整,安装后可以立即使用。-由于不使用空气弹簧,因此不需要空气弹簧。
・振动状态一目了然。
(可以目视观察控制器的每个LED闪烁单元的振动状态。)
-加速度信号可以从外部输出。
(通过将BNC连接器连接到示波器,可以看到活动对象正在正常工作。 Table Stable Ltd:主动隔振以及高 分辨率,高对比度光谱学的全球***。

AVI400-M
AVI 400-M的基本配置包括两个紧凑型隔振模块和一个控制单元,比较大负载为800公斤。通过增加紧凑型单元的数量,可以轻松实现对更高负载的支持。为了使AVI400-M适应用户特定的应用,可以使用不同长度的紧凑型装置。
AVI 400-M的隔离始于1,2 Hz,超过10HZ以上迅速增加至35 db
减少低频谐振可得到比普通的被动空气阻尼系统更好的性能
AVI 400-M系统固有的刚性赋予其出色的方向性和位置稳定性
AVI 400-M的出色性能包括所有六个方向水平和垂直振动模式
AVI 400-M紧凑型装置不需要任何大型安装工具。我们努力提供一种简单,友好的概念-因此,在装置上放置沉重的设备(例如SEM)时,避免了任何复杂的过程。
技术指标:
频率: 1.2-200Hz
负载范围: 0-800公斤
(单件): 400公斤 LFS-3可以被复装到现有的AVI/LP系统中。电子显微镜隔振台服务为先
Table Stable生产的主动式微振动控制系统AVI是一款多功能的主动式防振系统,具有**的防振单元和控制器。光刻机隔振台联系电话
TS-C
TS-C系列是紧凑的动态防振系统,可隔离所有六个平移和旋转振动模式。
这些价格适中的动态振动隔离系统在体积上却比比较大,**昂贵的无源系统更好地实现了隔离。使用压电力马达的惯性反馈不仅可以隔离建筑物的振动,还可以隔离放置在系统本身上的振动源。例如,这意味着即使通过操作员的手施加了力,由系统隔离的精密显微镜也将保持静止。
该系统的固有刚度比1Hz谐振无源隔离器的固有刚度大25倍,可提供出色的方向和位置稳定性。
有源隔离系统的特性通常表现为几乎没有低频共振,这种共振困扰着所有无源隔离系统。
该系统的设计即使在低至2-3
Hz的频率下也能提供出色的隔离度,在该频率下,许多建筑物由于绕垂直轴的振荡而显示出较大的水平振幅。隔离从大约0.7Hz开始,并迅速增加到至少10Hz以外的至少40 dB。 光刻机隔振台联系电话
岱美仪器技术服务(上海)有限公司主要经营范围是仪器仪表,拥有一支专业技术团队和良好的市场口碑。岱美中国致力于为客户提供良好的半导体工艺设备,半导体测量设备,光刻机 键合机,膜厚测量仪,一切以用户需求为中心,深受广大客户的欢迎。公司将不断增强企业重点竞争力,努力学习行业知识,遵守行业规范,植根于仪器仪表行业的发展。岱美中国秉承“客户为尊、服务为荣、创意为先、技术为实”的经营理念,全力打造公司的重点竞争力。