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隔振台基本参数
  • 品牌
  • Herz
  • 型号
  • AVI-200SLP,AVI-200SLP,AVI-200XLP,AVI-400SLP,AVI-40
  • 产地
  • 瑞士
  • 是否定制
隔振台企业商机

Table Stable生产的主动式微振动控制系统AVI是一款多功能的主动式防振系统,具有**的防振单元和控制器。

可能有多种变化,例如将其用作电子显微镜(SEM)的隔振台,或与光学平台结合使用的高性能光学实验台。


特点:

・通过主动控制没有共振点,可以防止低频范围的振动。

・安装时不需要参数调整,安装后可以立即使用。-由于不使用空气弹簧,因此不需要空气弹簧。

・振动状态一目了然。

(可以目视观察控制器的每个LED闪烁单元的振动状态。)

-加速度信号可以从外部输出。

(通过将BNC连接器连接到示波器,可以看到活动对象正在正常工作。 AVI 400-M紧凑型装置不需要任何大型安装工具。光刻机隔振台出厂价

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1.更换SEM侧面板(如有必要)。检查隔离系统和SEM的所有电缆是否松动连接。 检查并确保没有将SEM耦合到地面或其他振动源。

2.将电源线插入控制器背面。

翻转前面板上的“ ON”开关。 按红色按钮启用活动隔离。

3.几秒钟后,使能LED指示灯将变稳定,指示系统已正确隔离。 轻轻敲击SEM时,控制器上的红灯应短暂点亮然后熄灭。

4.如果一个或多个指示灯持续亮起,或者在正常情况下指示灯不熄灭,或者如果点击不亮,则表明传感器过载。

请仔细检查以下内容:没有任何东西触及模块,连接模块和SEM的所有电缆均松弛,并且已针对负载适当调整了模块。 日本隔振台售后服务TS-140的隔离始于0.7 Hz,超过10Hz时迅速增加至40db。

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支撑面测试

在系统运行时,推动支撑表面。 灯不亮,除了可能会大力推动。 如果可以轻松使灯点亮,则支撑表面刚度不足以获得充分的性能。 确定支撑表面是否起反应对水平或垂直力施加更大的作用,并尝试适当地使结构变硬。请注意,该系统将在任何支撑表面上运行,但会产生共振的柔软结构放大某些建筑物的振动频率,因此这些振动频率会降低隔离的。



桌面选择

桌面必须足够坚硬,以防止两个隔离单元相对旋转他们的长横轴。 蜂窝面包板或30mm厚的铝板会产生比较好的结果,但是可以使用石板甚至是实心木板。 对于的位置固定孔,请参阅本文档末尾的钻孔计划。注意,也可以将隔离单元直接连接到支持的设备上。 在这坚固的安装是***必要的。 我们很乐意为您提供比较好安装建议方法。


TS-140

TS-140结合了久经考验的技术特点与优雅且对用户友好的设计

这种中型动态隔振系统非常适合所有需要顶板上空间比TS-150更大的应用。

在公制(M6 x 25mm)或非公制网格上钻孔的顶板可将各种设备安装在隔离的桌面上。


TS-140结合了久经考验的技术特点与优雅且用户友好的设计

TS-140的隔离始于0.7 Hz,超过10Hz时迅速增加至40db

缺少低频谐振意味着比大多数常见的被动空气阻尼方法要好得多

TS系统的固有刚度赋予其出色的方向和位置稳定性

TS 140的出色性能包括所有水平和垂直共计六个方向的震动隔离模式

精确的自动高度调节机制即使在负载发生重大变化后也能将顶板稳定在比较好工作水平

遥控器允许在外部将隔离开关“打开”和“关闭”

用户友好,实用的操作优势是创新建筑理念的结果

TS-140的高度*为84毫米

TS 140的重量*为28.5千克 AVI系列可以在非常宽的频率范围内为激光干涉计、微检测设备等提供极好的隔振效果。

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TS特点:

◎在全部的6个自由度范围内,从0.7Hz到100Hz,TS系列产品提供优良的主动隔振性能。

◎当仪器装载时,高度调整会自动进行。

◎即使当负载偏离中心时,自动调平功能也能保持水准。当高重心的仪器被加载时,给予稳定性。

◎通过按下前方的按钮,系统可以锁定或者解锁。锁定功能可以防止在系统重新加载或传输中发生损坏。

◎前方的显示屏展示了在X,Y和Z方向的实际振动水平。

◎主动隔振也可以通过使用可选的远程控制箱来从外部启用或禁用 ***使用AVI系统时,将前面板隔离开关设置为关闭(黑色旋钮熄灭)。桌面式隔振台隔振台时频系统防震台应用

TS系统的固有刚度赋予其出色的方向和位置稳定性。光刻机隔振台出厂价

TS-150安全守则

只能将系统插入具有单独接地的插座。 不要断开此连接通过插座或使用不接地的延长线接地。

在打开本设备之前,请确保已将其连接到正确的电源电压。

请勿卸下任何盖子或让任何金属物体进入设备的任何开口。

请勿拆卸或尝试维修系统。 这可能会导致电击或损坏到系统。

卸下任何主机盖之前,请先断开电源。 请把维修交给合格的人员。

请勿在有危险的环境中使用。

请勿在顶板上钻任何孔。 这会损坏系统。

如果您怀疑系统有任何不安全之处,请拔下电源插头并防止可能发生的意外事 故用法。 请与您**近的服务中心联系。


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岱美仪器技术服务(上海)有限公司总部位于金高路2216弄35号6幢306-308室,是一家磁记录、半导体、光通讯生产及测试仪器的批发、进出口、佣金代理(拍卖除外)及其相关配套服务,国际贸易、转口贸易,商务信息咨询服务 的公司。公司自创立以来,投身于半导体工艺设备,半导体测量设备,光刻机 键合机,膜厚测量仪,是仪器仪表的主力军。岱美中国致力于把技术上的创新展现成对用户产品上的贴心,为用户带来良好体验。岱美中国始终关注自身,在风云变化的时代,对自身的建设毫不懈怠,高度的专注与执着使岱美中国在行业的从容而自信。

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