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  • 白光干涉仪隔振台大型半导体设备防震台应用,隔振台
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隔振台基本参数
  • 品牌
  • Herz
  • 型号
  • AVI-200SLP,AVI-200SLP,AVI-200XLP,AVI-400SLP,AVI-40
  • 产地
  • 瑞士
  • 是否定制
隔振台企业商机

使用说明书

解锁系统后,将设备放置在平坦且坚固的桌子上或地下。

调整负载补偿:

将负载放在**上面,并使用以下三个调整负载补偿侧面的车轮到外壳和顶板之间的距离为2mm。

沿+方向旋转轮子以增加负载补偿方向旋转车轮以减少负载补偿

按下并检查每个角是否有约0.5mm的自由移动。轻轻地上下拉顶板!

更改负载后,检查每个角是否自由移动!

将电源插头连接到背面的输入电源插座。

按下背面的电源按钮打开设备“ POWER” LED将点亮,而“ ACTIVE” LED开始闪烁。

大约30秒钟后,“活动” LED将保持点亮状态,并且系统现在可以使用了。

您可以通过按“启用”按钮来打开和关闭活动隔离。


AVI系列可以在非常宽的频率范围内为激光干涉计、微检测设备等提供极好的隔振效果。白光干涉仪隔振台大型半导体设备防震台应用

白光干涉仪隔振台大型半导体设备防震台应用,隔振台

TS-140 +40结合了久经考验的技术***性与优雅且用户友好的设计

TS-140 +40的隔离始于0.7 Hz,超过10Hz后迅速增加至40db

缺少低频谐振意味着比大多数常见的被动空气阻尼方法要好得多

TS系统的固有刚度赋予其出色的方向和位置稳定性

TS 140 +40的出色性能包括所有水平和垂直共计六个方向的震动隔离模式

精确的自动高度调节机制即使在负载发生重大变化后也能将顶板稳定在比较好工作水平

遥控器允许在外部将隔离开关“打开”和“关闭”

用户友好,实用的操作优势是创新建筑理念的结果

TS-140 +40的高度*84毫米

TS 140 +40的重量*为28.5千克 防震台隔振台有哪些应用LFS-3可以被复装到现有的AVI/LP系统中。

白光干涉仪隔振台大型半导体设备防震台应用,隔振台

AVI-600 / LP的每个单元均可调节,以适应0至600kg的负载。 对于任何设置由两个单元组成的系统上的负载,可在+/- 90kg之间变化,而不必重设调整。


***操作系统时,请将前面板隔离开关设置为OFF(黑色旋出)。 接通电源。 电源指示灯现在将点亮,并且24个显示LED将短暂闪烁。 黄色的使能LED将以大约2 Hz的频率闪烁。 如果剧烈震动存在或如果您将手放在桌面上,则某些或所有LED将闪烁。接通电源约30秒后,您可以将隔离开关推到ON位置(红色旋钮进入)。黄色LED现在将长久保持亮起,表明系统处于隔离。






AVI 200-XL的隔离始于1,2 Hz,然后迅速增加至超过10Hz的35dB

减少低频谐振可得到比普通的被动空气阻尼系统更好的性能

AVI 200-XL系统固有的刚性赋予其出色的方向性和位置稳定性

AVI 200-XL的出色性能包括所有六个方向水平和垂直振动模式

AVI 200-XL隔振模块不需要任何大型工具即可安装。我们努力提供一种简单,友好的概念-避免在安装出现中比较复杂的过程。

技术指标:

频率: 1,2-200 Hz

负载范围: 0-400公斤

AVI 200-M的基本配置包括两个单个承载模块和一个控制单元,比较大可以负载400公斤。通过增加隔离模块的数量,可以轻松承受更高的负载。为了使AVI

200-M适应用户特定的应用,可以按特殊顺序提供不同长度的单个模块。 TS-140结合了久经考验的技术***性与优雅且对用户友好的设计。

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将手轻轻放在桌面上。上方区块中的一个或多个LED可能会亮起,指示过载。了解在不造成过载的情况下可以施加多少力。如果你现在在桌面上施加很大的力,所有过载灯都会亮起,并且隔离指示灯将闪烁几秒钟,表明系统暂时不再隔离,直到过载消除(待机模式)。

消除过载后,隔离灯应再次亮起,系统开始隔离。某些过载LED可能会亮起并持续几秒钟。即使在这个阶段系统正在隔离-但增益降低。严重过载后,系统可能需要半个小时分钟即可达到完全隔离,但通常只需要几秒钟。注意:在正常使用中,隔离开关可能会保持在ON位置(黑色旋钮在里面)。上接通电源后,黄色指示灯将首先闪烁,表明系统处于待机状态模式。大约30秒钟后,指示灯停止闪烁并保持点亮状态,表明系统处于隔离。


先进的主动式隔振系统“TS 系列” 将作为21世纪纳米技术的隔振技术基础。TS-150/LP隔振台大型半导体设备防震台应用

AVI系列可以在非常宽的频率范围内为原子力显微镜、非接触式表面轮廓仪等提供极好的隔振效果。白光干涉仪隔振台大型半导体设备防震台应用

TS主动隔振台在3D空间的6个自由度中主动式隔振  从0.7 Hz 到100 Hz

在21世纪纳米技术(即先进的半导体**相关的信息技术,基因疗法等生命科学相关技术,原子或分子处理如MEMS和工程技术等新材料生产), 振动、噪声、电磁领域、热、湿度、干扰等是测量环境的抑 制因素。

在纳米技术中,为了获得可靠的结果,使用充气被动隔振台无法隔离低频振动,此时需要主动隔离。先进的主动式隔振系统“TS 系列” 将作为21世纪纳米技术的隔振技术基础。它将有助于发展目前的技术和测量、创新和发展未知的技术。

装载设备:

扫描电子显微镜,如 AFM3D表面分析仪,激光显微镜,激光干涉仪,液体表面张力测量系统,显微硬度测量仪,

医疗检测设备等 白光干涉仪隔振台大型半导体设备防震台应用

岱美仪器技术服务(上海)有限公司主要经营范围是仪器仪表,拥有一支专业技术团队和良好的市场口碑。公司业务分为半导体工艺设备,半导体测量设备,光刻机 键合机,膜厚测量仪等,目前不断进行创新和服务改进,为客户提供良好的产品和服务。公司将不断增强企业重点竞争力,努力学习行业知识,遵守行业规范,植根于仪器仪表行业的发展。岱美中国凭借创新的产品、专业的服务、众多的成功案例积累起来的声誉和口碑,让企业发展再上新高。

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