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隔振台基本参数
  • 品牌
  • Herz
  • 型号
  • AVI-200SLP,AVI-200SLP,AVI-200XLP,AVI-400SLP,AVI-40
  • 产地
  • 瑞士
  • 是否定制
隔振台企业商机

AVI单元和传感器的方向

隔离单元和LFS传感器必须正确安装,这一点很重要取向!LFS控制单元上的每个D-Sub15插座都有4个对应于AVI的开关输出以任意4个矩形方向(即平行或成直角)放置的元素。不允许其他方向。


为确保连接正确,请按照下列步骤操作:

面向LFS传感器的蓝色LED站立。 将***个AVI元素连接到以下任意一个后面板上的12个D-Sub15插座。用笔滑动开关在位置A和D之间。



所有AVI元素必须连接到LFS单元上的插槽。正确的开关位置对于获得良好的性能至关重要隔离。



Herz授权岱美仪器代理其生产的隔振台含AVI和TS系列。北京隔振台原理

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***使用AVI系统时,将前面板隔离开关设置为关闭(黑色旋钮熄灭)。打开电源。电源指示灯现在将点亮,16个显示LED将短暂闪烁。黄色启用LED将在约2Hz时闪烁。如果出现剧烈振动或把手放在桌面上,部分或全部LED将闪烁。打开电源约30秒后,您可以将隔离开关推到打开位置(黑色旋钮进入)。黄色LED现在将一直亮起,表示系统正在隔离。

把手轻轻地放在桌面上。可能会有一个或多个LED亮起,表示过载。了解在不造成过载的情况下可以施加多少力。 福建高精密仪器隔振台LFS传感器在三个轴上测量水平和垂直加速度,直到频率约为0.2Hz。

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关键词:主动式隔震台、主动式隔振台、主动式防振台、防振台、AVI、Herz、Tablestable、


·AVI系列振动传递率


横坐标为频率,纵坐标为传递率的数据,在10hz频率以上时,传递率的数据小于0.02,很好地起到了隔振作用。

AVI承载不同重量时不同方向上振动衰减的数据(实验室实验数据)

垂直方向上的振动传递衰减,在承重时10hz的频率以上时,比较大可以达到40dB的衰减。隔振效率可以达到99%以上的效果。10Hz以上的频率正常情况下是30dB到40dB的衰减。


LFS-2传感器测量两个轴的水平加速度,直至频率为约0.2Hz 传感器直接放置在地板上,并用于前馈回路中与标准AVI / LP系统结合使用,可在非常低的情况下提高隔振效果频率。 LFS-2可以改装为现有的AVI-LP系统。下表显示了在AVI / LP上测得的水平隔离度(透射率)有和没有LFS的系统。


将传感器连接到AVI /系统?

传感器LFS-2具有单独的电源,该电源通过D-Sub25插座连接到LFS-2控制单元。 用D-Sub 25将电源连接到传感器电缆。

每个AVI元素必须连接到背面的D-Sub15插座之一传感器的 LFS的实际位置并不重要,但必须放置它在支持AVI单元的同一表面上。将AVI单元的上部D-Sub 15插座连接到传感器。


Table Stable通过主动控制没有共振点,可以防止低频范围的振动。

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AVI-产品参数:AVI-200系列(负载:**多800kg)

型号:AVI-200SLP,AVI-200MLP,AVI-200XLP

系统形状:控制器与防振单元分离型

主动控制范围:被动隔振范围200Hz以上

确认防振状态:使用控制器背面的BNC连接器,外部连接前面的8个LED指示防振状态

尺寸:120×396×130×636×130×856×

控制器尺寸:241×287×142毫米

承重:400kg

单位重量:约9kg

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电源电压:95-240VAC50-60赫兹

耗电量:普通9W

工作温度范围:5℃〜40℃

工作湿度范围:10〜90%(5〜30℃)・10〜60%(30〜40℃)

可选零件(1)装载板,石板,铸铁板*另行咨询选装(2)高刚性支架或高阻尼高刚性支架*单独咨询。 隔振效率可以达到99%以上的效果。10Hz以上的频率正常情况下是30dB到40dB的衰减。福建高精密仪器隔振台

AVI系列可以在非常宽的频率范围内为激光干涉计、微检测设备等提供极好的隔振效果。北京隔振台原理

1.更换SEM侧面板(如有必要)。检查隔离系统和SEM的所有电缆是否松动连接。 检查并确保没有将SEM耦合到地面或其他振动源。

2.将电源线插入控制器背面。

翻转前面板上的“ ON”开关。 按红色按钮启用活动隔离。

3.几秒钟后,使能LED指示灯将变稳定,指示系统已正确隔离。 轻轻敲击SEM时,控制器上的红灯应短暂点亮然后熄灭。

4.如果一个或多个指示灯持续亮起,或者在正常情况下指示灯不熄灭,或者如果点击不亮,则表明传感器过载。

请仔细检查以下内容:没有任何东西触及模块,连接模块和SEM的所有电缆均松弛,并且已针对负载适当调整了模块。 北京隔振台原理

岱美仪器技术服务(上海)有限公司主要经营范围是仪器仪表,拥有一支专业技术团队和良好的市场口碑。公司业务分为半导体工艺设备,半导体测量设备,光刻机 键合机,膜厚测量仪等,目前不断进行创新和服务改进,为客户提供良好的产品和服务。公司将不断增强企业重点竞争力,努力学习行业知识,遵守行业规范,植根于仪器仪表行业的发展。在社会各界的鼎力支持下,持续创新,不断铸造***服务体验,为客户成功提供坚实有力的支持。

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