AVI 200-XL的隔离始于1,2 Hz，然后迅速增加至超过10Hz的35dB
减少低频谐振可得到比普通的被动空气阻尼系统更好的性能
AVI 200-XL系统固有的刚性赋予其出色的方向性和位置稳定性
AVI 200-XL的出色性能包括所有六个方向水平和垂直振动模式
AVI 200-XL隔振模块不需要任何大型工具即可安装。我们努力提供一种简单，友好的概念-避免在安装出现中比较复杂的过程。
技术指标：
频率： 1,2-200 Hz
负载范围： 0-400公斤
AVI 200-M的基本配置包括两个单个承载模块和一个控制单元，比较大可以负载400公斤。通过增加隔离模块的数量，可以轻松承受更高的负载。为了使AVI
200-M适应用户特定的应用，可以按特殊顺序提供不同长度的单个模块。 励磁箱允许将激励信号施加到TS隔离系统，以便该系统可以在任何方向上用作振动器。高校隔振台供应商
技术指标：频率负载范围尺寸0,7-1000Hz0-140公斤500x600x84毫米
隔离：动态（超过1kHz）
透射率：参见附件曲线10Hz以上的透射率<（-40dB）
矫正力：垂直+/-8N水平+/-4N
静态合规性：大约垂直约12µm/N水平30-40µm/N
比较大负载：140公斤尺寸：500x600x84毫米
重量：28.5kg
电的安全等级：1个能量消耗：比较大10W负载调整时20W输入电压：115-230VAC+/-10％50-60Hz
超载：显示屏指示负载过重或严重失衡
监控信号：示波器上显示的多路复用信号显示有无隔离的振动水平-*用于诊断目的
前面板显示菜单：显示仪器状态，包括：-高度调节-隔离开/关-过载-运输锁定-技术热线
桌上尺寸：500x600毫米。 北京晶圆隔振台LFS和AVI元件所在的支承面必须尽可能坚硬，以便在附近移动时不会明显倾斜。
LFS控制单元上的每个D-Sub15插座都有4个对应于AVI元件的开关输出，这些AVI元件以任意4个矩形方向（即平行或直角）放置，不允许其他方向。
面向LFS传感器的蓝色LED直立。将***个AVI元件连接到后面板上的12个D-Sub15插座中的任何一个。使用笔在位置A和D之间滑动开关。
传感器的位置:
传感器可以移动到任何所需位置。它可能位于负载下方或外部，但必须位于支持AVI元件的同一表面上。连接后，传感器与AVI单元的方向必须保持不变。
支承面刚度:
支承面的刚度很重要。水平传感器无法区分水平加速度和倾斜。因此，LFS和AVI元件所在的支承面必须尽可能坚硬，以便在附近移动时不会明显倾斜。倾斜将导致传感器输出饱和，隔离将失效。
1、使用2 mm内六角扳手（包括在内）拆下模块端板。
2、根据扫描电镜的重量调整模块。
在每个中心柱上的横梁上方和下方应该有一个间隙，允许每侧大约有2mm的行程。
B、使用M6活动扳手（包括）转动位于支撑弹簧顶部的调整螺母。向右转动扳手可降低模块并增加上部间隙（在**止动螺母和横撑之间）。向左转动扳手可升高模块并减小上部间隙。
C、计算每个螺母的圈数；尽可能均匀地调整所有螺母。并非所有中心柱上的间隙都完全相同。
D、不要转动螺母太远，否则可能损坏系统。在任何情况下，外露螺纹不得超过10mm
3.装回模块上的端板 AVI系列可以在非常宽的频率范围内为激光干涉计、微检测设备等提供极好的隔振效果。
主动式隔震台工作机理
主动防振台通过电气控制，向传入振动瞬间施加反方向的力，从而消除振动。测振传感器不断监测振动，制动器根据这些信号产生反向力，以保持比较好的隔振状态。主动式防震台专门研究10Hz以下低频范围的防震。
（1）实际测量的振动结果：AVI 主动隔振频率范围在 1.0Hz
到 200Hz之间。完美的隔振系统可控制很大范围的频率。
（2）不同负载下的振动传递率：
AVI 的隔振性能在负载低于 30Hz 以下时是一个重要的参照。高频率范围内，随着隔振负载增加，隔震效果稍有提升。 在过去的40年，HERZ发展成为被动式隔振设备的领头供应商 ，并在此领域积累了丰富的经验。浙江隔振台用途是什么
LFS-3性能使用测振仪的H-1档并有50公斤的重量下测试的。高校隔振台供应商
水平X轴方向上的振动传递衰减，在承重时10hz的频率以上时，比较大可以达到-40dB的衰减。隔振效率可以达到99%以上的效果。10Hz以上的频率正常情况下是30dB到40dB的衰减。
水平Y轴方向上的振动传递衰减，在承重时10hz的频率以上时，比较大可以达到-40dB的衰减。隔振效率可以达到99%以上的效果。10Hz以上的频率正常情况下是30dB到40dB的衰减。
AVI系列产品在振动加速度上的隔振效果。
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高校隔振台供应商
岱美仪器技术服务（上海）有限公司专注技术创新和产品研发，发展规模团队不断壮大。一批专业的技术团队，是实现企业战略目标的基础，是企业持续发展的动力。公司业务范围主要包括：半导体工艺设备，半导体测量设备，光刻机 键合机，膜厚测量仪等。公司奉行顾客至上、质量为本的经营宗旨，深受客户好评。一直以来公司坚持以客户为中心、半导体工艺设备，半导体测量设备，光刻机 键合机，膜厚测量仪市场为导向，重信誉，保质量，想客户之所想，急用户之所急，全力以赴满足客户的一切需要。
