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5、模块将放置在脚轮板下。将AVI模块滑到后倾角板下，使模块从一侧到另一侧（而不是从前到后）横跨立柱底面。将它们尽量放在外侧，不要碰到腿的侧壁。如果您安装的是EVO、Supra 25–55、Ultra 55或Neon 40，则每个隔离模块的宽度为7.5英寸。在这种情况下，每个模块上的电缆端口应朝内，相互朝向。如果您安装的是Supra 60/VP、Ultra 60或PLUS、Neon 60或NVision 40，则每个隔离模块的宽度为11.3英寸。在这种情况下，每个模块上的电缆端口应朝外，彼此远离。

6、再次在AVI模块顶部滑动第二个安装板，前后各27.5英寸，两侧各27英寸，在扫描电镜脚轮板下方居中。重新连接时，确保AVI模块和安装板都不会与扫描电镜侧板接触。确保AVI模块和安装板都不与前端或后端的扫描电镜支架接触。

7、系统就位后，使用扫描电镜水平尺降低扫描电镜，直到其落在安装板上。抬起水平尺，直到它们向上并离开。 传感器LFS-3有一个单独的电源，通过D-Sub25插座连接到LFS-3控制单元。AVI-600XLP隔振台联系电话

TS-140

TS-140结合了久经考验的技术特点与优雅且对用户友好的设计

这种中型动态隔振系统非常适合所有需要顶板上空间比TS-150更大的应用。

在公制（M6 x 25mm）或非公制网格上钻孔的顶板可将各种设备安装在隔离的桌面上。

TS-140结合了久经考验的技术特点与优雅且用户友好的设计

TS-140的隔离始于0.7 Hz，超过10Hz时迅速增加至40db

缺少低频谐振意味着比大多数常见的被动空气阻尼方法要好得多

TS系统的固有刚度赋予其出色的方向和位置稳定性

TS 140的出色性能包括所有水平和垂直共计六个方向的震动隔离模式

精确的自动高度调节机制即使在负载发生重大变化后也能将顶板稳定在比较好工作水平

遥控器允许在外部将隔离开关“打开”和“关闭”

用户友好，实用的操作优势是创新建筑理念的结果

TS-140的高度*为84毫米

TS 140的重量*为28.5千克 光刻机隔振台应用使用压电力马达的惯性反馈不仅可以隔离建筑物的振动，还可以隔离放置在系统本身上的振动源。

水平X轴方向上的振动传递衰减，在承重时10hz的频率以上时，比较大可以达到-40dB的衰减。隔振效率可以达到99%以上的效果。10Hz以上的频率正常情况下是30dB到40dB的衰减。

水平Y轴方向上的振动传递衰减，在承重时10hz的频率以上时，比较大可以达到-40dB的衰减。隔振效率可以达到99%以上的效果。10Hz以上的频率正常情况下是30dB到40dB的衰减。

AVI系列产品在振动加速度上的隔振效果。

如果想要了解更多信息请联系我们岱美仪器。或者访问我们的官网。

1、使用2 mm内六角扳手（包括在内）拆下模块端板。

2、根据扫描电镜的重量调整模块。

在每个中心柱上的横梁上方和下方应该有一个间隙，允许每侧大约有2mm的行程。

B、使用M6活动扳手（包括）转动位于支撑弹簧顶部的调整螺母。向右转动扳手可降低模块并增加上部间隙（在**止动螺母和横撑之间）。向左转动扳手可升高模块并减小上部间隙。

C、计算每个螺母的圈数；尽可能均匀地调整所有螺母。并非所有中心柱上的间隙都完全相同。

D、不要转动螺母太远，否则可能损坏系统。在任何情况下，外露螺纹不得超过10mm

3.装回模块上的端板 所有范围内为±5％。控制单元必须与相应的测量头一起使用！

TS-150支撑面测试:

尽管这些系统几乎可以在任何支撑面上运行，但采用软支撑结构共振放大某些建筑物的振动频率，因此这些振动频率会降低隔离的。

您可以通过观察诊断信号来了解支持结构的适用性同时推动支持。 此测试应禁用隔离。 如果支撑是刚性的信号几乎不应响应任何方向对支撑的推动。 现在尝试点击支持激发其内部共鸣。 通常，支架会对水平**产生更强烈的反应而不是垂直的。 一个非常共振的支撑将显示长寿命的共振，并且隔离将

在这些频率上受到严重影响。 更好的支撑将显示出良好的阻尼共振。

简单，用户友好的处理概念-避免在安装过程中进行复杂的过程。HERZ隔振台高性价比选择

LFS-3感应器测试水平和垂直方向加速度3轴的频率低到0.2Hz。AVI-600XLP隔振台联系电话

地板上没有AVI产品加速度的数据。（图中横坐标为频率，纵坐标为加速度）

加上AVI产品开启隔振功能后，加速度的数据。（图中横坐标为频率，纵坐标为加速度）

Herz

Low Frequency Sensor (LFS-3)低频感应器

LFS-3感应器测试水平和垂直方向加速度3轴的频率低到0.2Hz. 感应器直接放到地板上和AVI系列产品连在组成一个正向循环可以提高低频的隔振性能。LFS-3也可以配合已有的AVI系列产品。