1、使用2 mm内六角扳手（包括在内）拆下模块端板。
2、根据扫描电镜的重量调整模块。
在每个中心柱上的横梁上方和下方应该有一个间隙，允许每侧大约有2mm的行程。
B、使用M6活动扳手（包括）转动位于支撑弹簧顶部的调整螺母。向右转动扳手可降低模块并增加上部间隙（在**止动螺母和横撑之间）。向左转动扳手可升高模块并减小上部间隙。
C、计算每个螺母的圈数；尽可能均匀地调整所有螺母。并非所有中心柱上的间隙都完全相同。
D、不要转动螺母太远，否则可能损坏系统。在任何情况下，外露螺纹不得超过10mm
3.装回模块上的端板 Table Stable生产的主动式微振动控制系统AVI是一款多功能的主动式防振系统，具有**的防振单元和控制器。晶圆隔振台可以试用吗
TS-150支撑面测试:
尽管这些系统几乎可以在任何支撑面上运行，但采用软支撑结构共振放大某些建筑物的振动频率，因此这些振动频率会降低隔离的。
您可以通过观察诊断信号来了解支持结构的适用性同时推动支持。 此测试应禁用隔离。 如果支撑是刚性的信号几乎不应响应任何方向对支撑的推动。 现在尝试点击支持激发其内部共鸣。 通常，支架会对水平**产生更强烈的反应而不是垂直的。 一个非常共振的支撑将显示长寿命的共振，并且隔离将
在这些频率上受到严重影响。 更好的支撑将显示出良好的阻尼共振。
半导体隔振台样机试用传感器可以移动到任何所需位置。
AVI-600系列（负载：1200kg）
型号：AVI-600SLP，AVI-600MLP，AVI-600XLP
形状：控制器与防振单元分离型
主动控制范围：被动隔振范围200Hz以上
确认防振状态：使用控制器背面的BNC连接器，外部连接，前面的8个LED指示防振状态
单位尺寸：288×396×288×720×318×856×
控制器尺寸；448x286x143毫米
承重：1200kg（相等）
单位重量：约20kg，约26kg，联络我们
电源电压：95-240VAC，50-60赫兹
耗电量：正常27W
工作温度范围：5℃〜40℃
工作湿度范围：10〜90％（5〜30℃）・10〜60％（30〜40℃）
可选零件（1）装载板，石板，铸铁板*另行咨询。
选装（2）高刚性支架或高阻尼高刚性支架*单独咨询
AVI
400-XL
AVI 400-XL的基本配置包括两个紧凑型隔振模块和一个控制单元，比较大负载为800公斤。通过增加紧凑型单元的数量，可以轻松实现对更高负载的支持。为了使AVI400-M适应用户特定的应用，可以使用不同长度的紧凑型装置。
AVI 400-XL的隔离始于1,2 Hz，超过10HZ以上迅速增加至35 db
减少低频谐振可得到比普通的被动空气阻尼系统更好的性能
AVI 400-XL系统固有的刚性赋予其出色的方向性和位置稳定性
AVI 400-XL的出色性能包括所有六个方向水平和垂直振动模式
AVI 400-XL紧凑型装置不需要任何大型安装工具。我们努力提供一种简单，友好的概念-因此，在装置上放置沉重的设备（例如SEM）时，避免了任何复杂的过程。
技术指标：
频率： 1.2-200 Hz
负载范围： 0-800公斤
（单个）： 400公斤 TS-140的高度*为84毫米。
TS-C
TS-C系列是紧凑的动态防振系统，可隔离所有六个平移和旋转振动模式。
这些价格适中的动态振动隔离系统在体积上却比比较大，**昂贵的无源系统更好地实现了隔离。使用压电力马达的惯性反馈不仅可以隔离建筑物的振动，还可以隔离放置在系统本身上的振动源。例如，这意味着即使通过操作员的手施加了力，由系统隔离的精密显微镜也将保持静止。
该系统的固有刚度比1Hz谐振无源隔离器的固有刚度大25倍，可提供出色的方向和位置稳定性。
有源隔离系统的特性通常表现为几乎没有低频共振，这种共振困扰着所有无源隔离系统。
该系统的设计即使在低至2-3
Hz的频率下也能提供出色的隔离度，在该频率下，许多建筑物由于绕垂直轴的振荡而显示出较大的水平振幅。隔离从大约0.7Hz开始，并迅速增加到至少10Hz以外的至少40 dB。 TS-140结合了久经考验的技术***性与优雅且对用户友好的设计。实验室隔振台用途
LFS传感器在三个轴上测量水平和垂直加速度，直到频率约为0.2Hz。晶圆隔振台可以试用吗
由于在重大工程、工业装备和质量保证、基础科研中，仪器仪表都是必不可少的基础技术和装备重点，除传统领域的需求外，新兴的智能制造、离散自动化、生命科学、新能源、海洋工程、轨道交通等领域也会产生巨大需求。随着互联网的逐步发展，为半导体工艺设备，半导体测量设备，光刻机 键合机，膜厚测量仪等产品的传播提供了一个飞速的平台。让仪器仪表行业从传统的销售模式到以互联网电子商务为主的营销方式的转变，促进了仪器仪表行业与互联网的结合，推动产业创新发展。中国仪器仪表行业目前正处于高速发展阶段，需要与之相适应的磁记录、半导体、光通讯生产及测试仪器的批发、进出口、佣金代理（拍卖除外）及其相关配套服务，国际贸易、转口贸易，商务信息咨询服务 产品营销模式相互配合。“互联网＋”、大数据、020、万物互联网、P2P、分享经济等热门词汇的出现，各个行业制定相应的措施来顺应时代的经济发展，以争取更大的发展市场。而互联网的出现也为仪器仪表行业参与国际竞争提供了机会，有利于贸易企业实现技术创新升级。晶圆隔振台可以试用吗
