TS主动隔振台在3D空间的6个自由度中主动式隔振 从0.7 Hz 到100 Hz
在21世纪纳米技术(即先进的半导体**相关的信息技术,基因疗法等生命科学相关技术,原子或分子处理如MEMS和工程技术等新材料生产), 振动、噪声、电磁领域、热、湿度、干扰等是测量环境的抑 制因素。
在纳米技术中,为了获得可靠的结果,使用充气被动隔振台无法隔离低频振动,此时需要主动隔离。先进的主动式隔振系统“TS 系列” 将作为21世纪纳米技术的隔振技术基础。它将有助于发展目前的技术和测量、创新和发展未知的技术。
装载设备:
扫描电子显微镜,如 AFM3D表面分析仪,激光显微镜,激光干涉仪,液体表面张力测量系统,显微硬度测量仪,
医疗检测设备等 示波器上显示的多路复用信号显示有无隔离的振动水平-*用于诊断目的。芯片隔振台样机试用

支撑面测试
在系统运行时,推动支撑表面。 灯不亮,除了可能会大力推动。 如果可以轻松使灯点亮,则支撑表面刚度不足以获得充分的性能。 确定支撑表面是否起反应对水平或垂直力施加更大的作用,并尝试适当地使结构变硬。请注意,该系统将在任何支撑表面上运行,但会产生共振的柔软结构放大某些建筑物的振动频率,因此这些振动频率会降低隔离的。
桌面选择
桌面必须足够坚硬,以防止两个隔离单元相对旋转他们的长横轴。 蜂窝面包板或30mm厚的铝板会产生比较好的结果,但是可以使用石板甚至是实心木板。 对于的位置固定孔,请参阅本文档末尾的钻孔计划。注意,也可以将隔离单元直接连接到支持的设备上。 在这坚固的安装是***必要的。 我们很乐意为您提供比较好安装建议方法。
实验室隔振台价格在纳米技术的时代,极之微细的振动已对搜索结果造成极大的影响,必须改善测量环境。

LFS-3传感器在三个轴上测量水平和垂直加速度,频率约为0.2Hz。该传感器直接放置在地板上,与标准AVI/LP系统结合使用在前馈回路中,以提高极低频时的隔振性能。LFS-3可以被复装到现有的AVI/LP系统中。下面的图显示了在AVI/LP系统上测量的垂直和水平隔离(可传输性),其具有和不具有LFS。用AVI-200 S/LP进行测量,增益设置为128(V)和150(H)。
输入电压:115/230V
AC,50-60Hz 功耗:比较大20瓦
频率范围:0.2-20Hz 尺寸传感器:255x245x107mm(长x宽x高)
电源尺寸:265x155x73mm(长x宽x高) 重量传感器:5.9kg
供电重量:1.6kg 应用:室内
防护等级:IP 20 温度范围 :5°C-40°C
相对湿度:10–90%(5–30°C)
AVI-产品参数:AVI-200系列(负载:**多800kg)
型号:AVI-200SLP,AVI-200MLP,AVI-200XLP
系统形状:控制器与防振单元分离型
主动控制范围:被动隔振范围200Hz以上
确认防振状态:使用控制器背面的BNC连接器,外部连接前面的8个LED指示防振状态
尺寸:120×396×130×636×130×856×
控制器尺寸:241×287×142毫米
承重:400kg
单位重量:约9kg
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电源电压:95-240VAC50-60赫兹
耗电量:普通9W
工作温度范围:5℃〜40℃
工作湿度范围:10〜90%(5〜30℃)・10〜60%(30〜40℃)
可选零件(1)装载板,石板,铸铁板*另行咨询选装(2)高刚性支架或高阻尼高刚性支架*单独咨询。 该表在支持灵敏实验(例如膜片钳,显微注射或用于测量Langmuir-Blodgett膜的液体的槽)方面非常成功。

Herz
Low Frequency Sensor (LFS-3)低频感应器
LFS-3性能
LFS-3感应器测试水平和垂直方向加速度3轴的频率低到0.2Hz. 感应器直接放到地板上和AVI系列产品连在组成一个正向循环可以提高低频的隔振性能。LFS-3也可以配合已有的AVI系列产品。
LFS-3性能使用测振仪的V档并有50公斤的重量下测试的。LFS-3性能使用测振仪的H-1档并有50公斤的重量下测试的。
AVI主动隔振系统帮助精密仪器在基础研究、应用研究、生产等方面创造稳定的测量和生产环境。AVI系列可以在非常宽的频率范围内为原子力显微镜、非接触式表面轮廓仪、激光干涉计、微检测设备等提供极好的隔振效果。 ***使用AVI系统时,将前面板隔离开关设置为关闭(黑色旋钮熄灭)。芯片隔振台样机试用
从低频率起提高一个隔振环境。芯片隔振台样机试用
AVI
400-XL
AVI 400-XL的基本配置包括两个紧凑型隔振模块和一个控制单元,比较大负载为800公斤。通过增加紧凑型单元的数量,可以轻松实现对更高负载的支持。为了使AVI400-M适应用户特定的应用,可以使用不同长度的紧凑型装置。
AVI 400-XL的隔离始于1,2 Hz,超过10HZ以上迅速增加至35 db
减少低频谐振可得到比普通的被动空气阻尼系统更好的性能
AVI 400-XL系统固有的刚性赋予其出色的方向性和位置稳定性
AVI 400-XL的出色性能包括所有六个方向水平和垂直振动模式
AVI 400-XL紧凑型装置不需要任何大型安装工具。我们努力提供一种简单,友好的概念-因此,在装置上放置沉重的设备(例如SEM)时,避免了任何复杂的过程。
技术指标:
频率: 1.2-200 Hz
负载范围: 0-800公斤
(单个): 400公斤 芯片隔振台样机试用