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晶圆光刻显影、蚀刻光刻工艺的基本流程如图1 [2]所示。首先是在晶圆（或衬底）表面涂上一层光刻胶并烘干。烘干后的晶圆被传送到光刻机里面。光线透过一个掩模把掩模上的图形投影在晶圆表面的光刻胶上，实现曝光，激发光化学反应。对曝光后的晶圆进行第二次烘烤，即所谓的曝光后烘烤，后烘烤使得光化学反应更充分。***，把显影液喷洒到晶圆表面的光刻胶上，对曝光图形显影。显影后，掩模上的图形就被存留在了光刻胶上。涂胶、烘烤和显影都是在匀胶显影机中完成的，曝光是在光刻机中完成的。匀胶显影机和光刻机一般都是联机作业的，晶圆通过机械手在各单元和机器之间传送。整个曝光显影系统是封闭的，晶圆不直接暴露在周围环境中，以减少环境中有害成分对光刻胶和光化学反应的影响 [2]。对于用户的速度和功率消耗增加非常明显，制造商面临改进芯片结构的尖锐挑战。杨浦区个性化电阻芯片量大从优

管脚数:A—8；B—10﹔C—12，192；D—14；E—16；F——22，256；G—4；H—4；I—28 ；J—2；K—5，68；L—40；M—6，48；N—18；O—42；P—20﹔Q—2，100﹔R—3，843；S——4，80；T—6，160；U—60；V—8(圆形)﹔ W—10(圆形)﹔X—36；Y—8(圆形)﹔Z—10(圆形)。注:接口类产品四个字母后缀的***个字母是E，则表示该器件具备抗静电功能**早的集成电路使用陶瓷扁平封装，这种封装很多年来因为可靠性和小尺寸继续被军方使用。商用电路封装很快转变到双列直插封装，开始是陶瓷，之后是塑料。20世纪80年代，VLSI电路的针脚超过了DIP封装的应用限制，***导致插针网格数组和芯片载体的出现。黄浦区加工电阻芯片生产企业这是因为，现代计算、交流、制造和交通系统，包括互联网，全都依赖于集成电路的存在。

这种方法容易实施但无法检测出非功能性影响的故障。结构测试是对内建测试的改进，它结合了扫描技术，多用于对生产出来的芯片进行故障检验。缺陷故障测试基于实际生产完成的芯片，通过检验芯片的生产工艺质量来发现是否包含故障。缺陷故障测试对专业技术人员的知识和经验都要求很高。芯片厂商通常会将这四种测试技术相结合，以保障集成电路芯片从设计到生产再到应用整个流程的可靠性和安全性。压诊断出现较早且运用较广。电压测试的观测信息是被测电路的逻辑输出值。

表面贴着封装在20世纪80年代初期出现，该年代后期开始流行。它使用更细的脚间距，引脚形状为海鸥翼型或J型。以Small-Outline Integrated Circuit（SOIC）为例，比相等的DIP面积少30-50%，厚度少70%。这种封装在两个长边有海鸥翼型引脚突出，引脚间距为0.05英寸。Small-Outline Integrated Circuit（SOIC）和PLCC封装。20世纪90年代，尽管PGA封装依然经常用于**微处理器。PQFP和thin small-outline package（TSOP）成为高引脚数设备的通常封装。Intel和AMD的**微处理从P***ine Grid Array）封装转到了平面网格阵列封装（Land Grid Array，LGA）封装。在其开发后半个世纪，集成电路变得无处不在，计算机、手机和其他数字电器成为社会结构不可缺少的一部分。

1965-1978年 创业期1965年，***批国内研制的晶体管和数字电路在河北半导体研究所鉴定成功。1968年，上海无线电十四厂**制成PMOS（P型金属-氧化物-半导体）集成电路。1970年，北京878厂、上海无线电十九厂建成投产。 [17]1972年，**块PMOS型LSI电路在四川永川一四二四研究所制。1976年，中科院计算所采用中科院109厂（现中科院微电子研究所）研制的ECL（发射极耦合逻辑电路），研制成功1000万次大型电子计算机。 [5]1978-1989年 探索前进期1980年，**条3英寸线在878厂投入运行。甚至很多学者认为由集成电路带来的数字是人类历史中重要的事件。虹口区个性化电阻芯片销售厂

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**的集成电路是微处理器或多核处理器的**，可以控制计算机到手机到数字微波炉的一切。虽然设计开发一个复杂集成电路的成本非常高，但是当分散到通常以百万计的产品上，每个集成电路的成本**小化。集成电路的性能很高，因为小尺寸带来短路径，使得低功率逻辑电路可以在快速开关速度应用。这些年来，集成电路持续向更小的外型尺寸发展，使得每个芯片可以封装更多的电路。这样增加了每单位面积容量，可以降低成本和增加功能，见摩尔定律，集成电路中的晶体管数量，每1.5年增加一倍。杨浦区个性化电阻芯片量大从优

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