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晶圆光刻显影、蚀刻光刻工艺的基本流程如图1 [2]所示。首先是在晶圆（或衬底）表面涂上一层光刻胶并烘干。烘干后的晶圆被传送到光刻机里面。光线透过一个掩模把掩模上的图形投影在晶圆表面的光刻胶上，实现曝光，激发光化学反应。对曝光后的晶圆进行第二次烘烤，即所谓的曝光后烘烤，后烘烤使得光化学反应更充分。***，把显影液喷洒到晶圆表面的光刻胶上，对曝光图形显影。显影后，掩模上的图形就被存留在了光刻胶上。涂胶、烘烤和显影都是在匀胶显影机中完成的，曝光是在光刻机中完成的。匀胶显影机和光刻机一般都是联机作业的，晶圆通过机械手在各单元和机器之间传送。整个曝光显影系统是封闭的，晶圆不直接暴露在周围环境中，以减少环境中有害成分对光刻胶和光化学反应的影响 [2]。晶圆涂膜能抵抗氧化以及耐温能力，其材料为光阻的一种。松江区质量电阻芯片销售厂

1982年，江苏无锡724厂从东芝引进电视机集成电路生产线，这是**次从国外引进集成电路技术；***成立电子计算机和大规模集成电路领导小组，制定了中国IC发展规划，提出“六五”期间要对半导体工业进行技术改造。1985年，***块64K DRAM 在无锡国营724厂试制成功。1988年，上无十四厂建成了我国***条4英寸线。1989年，机电部在无锡召开“八五”集成电路发展战略研讨会，提出振兴集成电路的发展战略；724厂和永川半导体研究所无锡分所合并成立了中国华晶电子集团公司。 [5]1990-2000年 重点建设期1990年，***决定实施“908”工程。松江区优势电阻芯片工厂直销在一个自排列（CMOS）过程中，所有门层（多晶硅或金属）穿过扩散层的地方形成晶体管。

半导体集成电路工艺，包括以下步骤，并重复使用：光刻刻蚀薄膜（化学气相沉积或物***相沉积）掺杂（热扩散或离子注入）化学机械平坦化CMP使用单晶硅晶圆（或III-V族，如砷化镓）用作基层，然后使用光刻、掺杂、CMP等技术制成MOSFET或BJT等组件，再利用薄膜和CMP技术制成导线，如此便完成芯片制作。因产品性能需求及成本考量，导线可分为铝工艺（以溅镀为主）和铜工艺（以电镀为主参见Damascene）。主要的工艺技术可以分为以下几大类：黄光微影、刻蚀、扩散、薄膜、平坦化制成、金属化制成

1965-1978年 创业期1965年，***批国内研制的晶体管和数字电路在河北半导体研究所鉴定成功。1968年，上海无线电十四厂**制成PMOS（P型金属-氧化物-半导体）集成电路。1970年，北京878厂、上海无线电十九厂建成投产。 [17]1972年，**块PMOS型LSI电路在四川永川一四二四研究所制。1976年，中科院计算所采用中科院109厂（现中科院微电子研究所）研制的ECL（发射极耦合逻辑电路），研制成功1000万次大型电子计算机。 [5]1978-1989年 探索前进期1980年，**条3英寸线在878厂投入运行。模拟集成电路有，例如传感器、电源控制电路和运放，处理模拟信号。

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