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阀门开关60设置在每一子管道301上。在一些实施例中，阀门开关60设置在每一子管道401及每一所述第二子管道502上。在一些实施例中，阀门开关60设置在每一第二子管道502上。具体的，阀门开关60的设置位置可以设置在连接过滤器30的任意管道上，在此不做赘述。在一些实施例中，请参阅图4，图4为本申请实施例提供的剥离液机台100的第四种结构示意图。第二管道50包括多个第三子管道503，每一所述第三子管道503与一子过滤器连通301，且每一所述第三子管道503与所述下一级腔室连通102。其中，阀门开关60设置在每一第三子管道503上。本申请实施例提供的剥离液机台，包括：依次顺序排列的多级腔室、每一级所述腔室对应连接一存储箱；过滤器，所述过滤器的一端设置通过管道与当前级腔室对应的存储箱连接，所述过滤器的另一端通过第二管道与下一级腔室连接；其中，至少在管道或所述第二管道上设置有阀门开关。通过阀门开关控制连接每一级腔室的过滤器相互独立，从而在过滤器被阻塞时通过阀门开关将被堵塞的过滤器取下并不影响整体的剥离进程，提高生产效率。本申请实施例还提供一种剥离液机台的工作方法，请参阅图5，图5为本申请实施例提供的剥离液机台的工作方法的流程示意图。京东方用的哪家的剥离液？佛山铜蚀刻液剥离液商家

所述功能切换口3外部并联有高纯水输入管线1和沉淀剂输入管线2。所述二级过滤罐13的底部设有废液出口20。所述一级过滤罐16和二级过滤罐13内部均悬设有拦截固体成分的过滤筒。本实施例中，所述一级过滤罐16和二级过滤罐13的结构相同，以一级过滤罐16为例，由外壳1601、悬设于外壳1601内的过滤筒、扣装于过滤筒顶部的压盖1602组成。所述压盖1602中心设有对应进料管路15的通孔。所述过滤筒由均匀布设多孔1606的支撑筒体1605、设于支撑筒体1605内表面的金属滤网1604、设于金属滤网1604表面的纤维滤布1603组成。所述支撑筒体1605的上沿伸出外壳1601顶部并利用水平翻边支撑于外壳1601上表面，所述金属滤网1604的上沿设有与支撑筒体1605的水平翻边扣合的定位翻边。所述支撑筒体1605的底面为向筒体内侧凹陷的锥面1607，增加了过滤面积，提高了过滤效率。所述搅拌釜10设有ph计（图中省略），用于检测溶液ph值。搅拌釜10由釜体8、设于釜体8顶部的搅拌电机4、与搅拌电机4连接的搅拌杆11、设于搅拌杆11末端的搅拌桨12组成，所述搅拌桨12为u字形，釜体8外表面设有调温水套9。工作过程：1、先向搅拌釜10内投入光刻胶废剥离液，再向釜内输入高纯水，两者在搅拌釜10内搅拌均匀。佛山铜蚀刻液剥离液商家剥离液可以用在什么地方；

避免接触皮肤、眼睛和衣服；存储：密闭存放在阴凉干燥的地方8.防燥和人员保护极限N-Methyl-2-pyrrolidone80mg/m3(19ml/m3)DFGMAK(peaklimitationcategory-II,2)(Vapour)(skin)10ppmAIHA,TWAN,N-DIMETHYLACETAMIDE-TWA:10ppm,35mg/m3通风：良好的通风措施，保持良好通风人员保护设备：橡胶手套、防护目镜，避免接触皮肤、眼睛、衣服、避免吸入蒸汽压；9.物理和化学性能物理测试：液体颜色：微黄气味:类氨熔点:-24~-23℃沸点：165~204℃闪点:110℃蒸汽压mmHg@20℃蒸汽压密度(空气=1):密度(水=1):粘度：10~200cps水中溶解性:任意比例混溶其它溶剂：溶于部分有机溶剂PH值：10.稳定性与活性稳定性:稳定危险反应:有机和无机酸、强氧化剂、碱金属、强酸混溶性:强氧化剂和酸不能混溶，在高温气压下可与二硫化碳反应避免条件：热、火、火源及混溶11.毒性N-Methyl-2-pyrrolidone实际毒性LD50/口服:3600mg/kgLD50/皮肤接触（兔）:8000mg/kgLC50/吸入（鼠）:>mg/1/4hN,N-DIMETHYLACETAMIDELD50/口服/鼠:>2000mg/kgLD50/皮肤接触/兔:>。

图3是一现有技术光刻胶剥离去除示意图二，其离子注入步骤。图4是一现有技术光刻胶剥离去除示意图三，其显示离子注入后光刻胶形成了主要光刻胶层和第二光刻胶层。图5是一现有技术光刻胶剥离去除示意图四，其显示光刻胶膨胀。图6是一现有技术光刻胶剥离去除示意图五，其显示光刻胶炸裂到临近光刻胶。图7是一现有技术光刻胶剥离去除示意图六，其显示光刻胶去除残留。图8是本发明光刻胶剥离去除示意图一，其显示首先剥离去除主要光刻胶层。图9是本发明光刻胶剥离去除示意图二，其显示逐步剥离去除第二光刻胶层的中间过程。图10是本发明光刻胶剥离去除示意图三，其显示完全去除光刻胶后的衬底。图11是采用现有技术剥离去除光刻胶残留缺陷示意图。图12是采用本发明剥离去除光刻胶残留缺陷示意图。具体实施方式以下通过特定的具体实施例说明本发明的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所公开的内容充分地了解本发明的其他优点与技术效果。本发明还可以通过不同的具体实施方式加以实施或应用，本说明书中的各项细节也可以基于不同观点加以应用，在没有背离发明总的设计思路下进行各种修饰或改变。需说明的是，在不的情况下，以下实施例及实施例中的特征可以相互组合。剥离液公司的联系方式。

所述功能切换口外部并联有高纯水输入管线和沉淀剂输入管线，所述二级过滤罐的底部设有废液出口，所述一级过滤罐和二级过滤罐内部均悬设有拦截固体成分的过滤筒。上述的光刻胶废剥离液回收装置，所述一级过滤罐和二级过滤罐的结构相同，均由外壳、悬设于外壳内的过滤筒、扣装于过滤筒顶部的压盖组成，所述压盖中心设有对应进料管路的通孔，所述过滤筒由均匀布设多孔的支撑筒体、设于支撑筒体内表面的金属滤网、设于金属滤网表面的纤维滤布组成，所述支撑筒体的上沿伸出外壳顶部并利用水平翻边支撑于外壳上表面，所述金属滤网的上沿设有与支撑筒体的水平翻边扣合的定位翻边，所述支撑筒体的底面为向筒体内侧凹陷的锥面。上述的光刻胶废剥离液回收装置，所述搅拌釜设有ph计，用于检测溶液ph值。本实用新型的有益效果是：使用时，先将高纯水与光刻胶废剥离液在搅拌釜内搅拌均匀，形成固液混合物，打开一级过滤罐进料管路上的电磁阀，固液混合物进入一级过滤罐的过滤筒中，先由一级过滤罐的过滤筒过滤得到一级线性酚醛树脂，滤液由提升泵送往搅拌釜的循环料口，往复设定次数后，一级线性酚醛树脂回收完成，关闭一级过滤罐进料管路上的电磁阀。选择剥离液，提升工作效率，降低成本。佛山铜蚀刻液剥离液商家

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本发明涉及半导体制造领域，特别是涉及一种用于包括但不限于半导体生产工艺中光刻胶去除步骤的光刻胶剥离去除方法。背景技术：光刻胶是一大类具有光敏化学作用(或对电子能量敏感)的高分子聚合物材料，是转移紫外曝光或电子束曝照图案的媒介。光刻胶的也称为光致抗蚀剂、光阻等，其作用是作为抗刻蚀层保护衬底表面。光刻胶广泛应用于集成电路(ic)、封装(packaging)、微机电系统(mems)、光电子器件光子器件(optoelectronics/photonics)、平板显示其(led、lcd、oled)和太阳能光伏(solarpv)等领域。在半导体制造领域，离子注入层光刻胶(参考图2)在经过高剂量或大分子量的源种注入后(参考图3)，会在光刻胶的外层形成一层硬壳(参考图4)本发明命名为主要光刻胶层。现有的离子注入层光刻胶在经过氧气灰化干法剥离时，由于等离子氧与光刻胶反应速率很高，会有一部分等离子氧先穿透主要光刻胶层到达第二光刻胶层，在与第二光刻胶层反应后在内部产生大量气体，第二层光刻胶膨胀(参考图5)，主要光刻胶层终因承受不住内层巨大的气压而爆裂，爆裂的光刻胶有一定的概率掉落在临近的光刻胶上(参考图6)，导致此交叠的光刻胶不能法剥离干净。在经过后续批作业的湿法剥离后会产生残余物。佛山铜蚀刻液剥离液商家