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五洁净室检测的工艺流程凡测定中所用的一切仪器设备必须按规定进行鉴定、校正或标定。测定之前，必须对系统、洁净室、机房等处进行***清扫；在清扫和系统调整后，必须连续运行一段时间然后进行检漏等项目的测定。（一）洁净室测定的程序大致如下：1、风机空吹2、室内清扫3、调整风量4、安中效过滤器5、安高效过滤器6、系统运行7、高效过滤器检漏8、调整风量9、调整室内静压差10、调整温湿度11、单相流洁净室截面平均速度、速度不均匀的测定12、室内洁净度测定13、室内浮游菌和沉降菌的测定14、和生产设备有关的工作和调整按气流组织分类，洁净室可分为三类：单向流、层流、洁净室。广东实验室检测方便客户

洁净室空气中悬浮粒子检测采样时应注意的问题①静态测试时室内的测试人员不得多于2人测试报告中应标明测试时所采用的状态；②对于单向流测试应在净化空气调节系统正常运行时间不少于10min后开始非单向流要不少于30min后开始；③必须按照仪器的检定周期定期对仪器作检定。视仪器本身特点、使用频率、使用环境等决定；④每个采样点可按所计算确定的**小采样量采样空气。但一般根据所使用的粒子计数器的采样量及时间设定通常实际采样都可能高于**小采样量。⑤测定时，进入洁净室的人员要穿洁净服有风淋室要经过风淋室，在室内尽量处于下风处并静止少动。浙江洁净工作台检测无尘车间内的洁净工作台可根据产品要求或其他用途的要求，在操作台上保持高洁净度的局部净化。

 复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用，可提供局部超洁净之空气。

  (1)洁净隧道(Clean Tunnel)：以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域100%覆盖使洁净度等级提高至10级以上，可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离，以避免机器维修时影响了工作及品质，ULSI制程大都采用此种型式。

  洁净隧道另有二项优点：A.弹性扩充容易; B.维修设备时可在维修区轻易执行。

  (2)洁净管道(Clean Tube)：将产品流程经过的自动生产线包围并净化处理，将洁净度等级提至100级以上。因产品和作业员及发尘环境相互隔离，少量之送风即可得到良好之洁净度，可节省能源，不需人工的自动化生产线为适宜使用。药品、食品业界及半导体业界均适用。

  (3)并装局部洁净室(Clean Spot)：将洁净室等级10,000~100,000之乱流洁净室内之产品制程区的洁净度等级提高为10~1000级以上，以为生产之用;洁净工作台、洁净工作棚、洁净风柜即属此类。

①换气次数

   换气次数的作用是保证有足够进行稀释的干净气流。

   换气次数的多少应根据计算和经验确定。

   ②气流组织

   气流组织的作用是保证能均匀地送风和回风，充分发挥干净气流的稀释作用。因此要求单个风口有足够的扩散作用，全室回风布置均匀，数量多一些好，要尽量减少涡流和气流回旋。

   ③自净时间

   自净时间是洁净室从污染状态回复到稳定状态的能力的体现，越短越好。也可以指定为从某污染状态降低到某洁净状态的时间。

③下限风速

   这是为了保证洁净室能控制以下四种污染的小风速：

   a.当污染气流多方位散布时，送风气流要能有效控制污染的范围；

   b.当污染气流与送风气流同向时，送风气流要能有效控制污染气流到达下游的扩散范围；

   c.当污染气流与送风气流逆向时，送风气流能把污染气流在必要的距离之内；

   d.在全室被污染的情况下，足以在合适的时间迅速使室内空气自净。

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洁净室里人员的要求

洁净室工作的人员要定期接受污染控制理论培训。他们通过气闸，空气淋浴器和/或更衣室进出洁净室，他们必须穿专门设计的衣服，包裹住皮肤和身体自然产生的污染物。

根据洁净室的分类或功能，工作人员的着装可能只需实验服和头套简单防护，也可能完全包裹的不暴露任何皮肤的全身防护。

洁净服是用来防止颗粒和或微生物从穿着者的身体释放和污染环境。洁净服本身不得释放颗粒或纤维，以防止污染环境。这种类型的人员污染可以降低半导体和制药工业中的产品性能，并且它可以导致例如医疗保健行业中的医务人员和患者之间的交叉污染。

洁净防护装备包括防护服、靴子，鞋子，围裙，胡须套，圆帽，口罩，工装/实验服，长袍，手套和指套，袖套和鞋、靴套。所用洁净服的类型应反映洁净室和产品类别。低级别的洁净室可能需要特殊的鞋，鞋底完全光滑，不会站上灰尘或污垢。但是考虑到安全原因，鞋底又不能造成滑倒的危险。进入洁净室通常都需要穿洁净服。10,000级洁净室可以使用简单的实验服，头套和鞋套。对于100级洁净室，需要全身包裹，带拉链的防护服、护目镜、口罩、手套和靴套。

此外还要控制洁净室内人员的数量，平均4～6m2/人，操作要轻缓，避免大幅度和快速移动。 对于不安装过滤器的风口可按综合效能普通通风空调风口风量测试的方法进行。安徽消毒液净化车间环境检测规范性强

层流罩一种可提供局部高清洁环境的空气净化设备。它主要有箱体，风机，初效空气过滤器，高效空气过滤器。广东实验室检测方便客户

室内静压差的测试1、仪器设备及环境测量仪器倾斜微压计、数字微压计等。环境温度常温或设计温度下。2、抽样对有设计要求的各个相邻区域实施检测。3、静压差检测结果应符合下列规定。（1）相邻不同级别洁净室之间和洁净室与非洁净室之间的静压差应不小于5Pa。（2）洁净室与室外静压差应大于10Pa。（3）洁净度高于100级的单向流层流洁净室在开门状态下在出入口处的室内侧0.6m处不应测出超过室内级别上限的浓度。4、操作过程及判定（1）将所有的门关闭，将测定用胶管口径比较好在5mm以下从墙壁上的孔洞伸入室内在离壁面不远处，垂直于气流方向设置周围无阻挡气流扰动**小。（2）静压差的测定应从平面上**里面的房间，通常也就是洁净度级别比较高的房间，与其紧邻的房间之间的压差测起依次向外测定，直至测得**靠外的洁净室与周围附属环境之间、与室外环境之间的压差。（3）对于洁净度高于5级的单向流层流洁净室，还应测定在门开启状态下离门口0.6m处的室内侧工作面高度的粒子数。广东实验室检测方便客户

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