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无菌室使用与管理要求

1．工作室应矮小、平整，面积小，高2.2―2.3米，内部装修应平整、光滑，无凹凸不平或棱角等，四壁及屋顶应用不透水之材质，便于擦洗及杀菌。

2．室内采光面积大，从室外应能看到室内情况。

3．为保证无菌室的洁净，无菌室周围需设缓冲走廊，走廊旁再设缓冲间，其面积可小于无菌室。

4．无菌室、缓冲走廊及缓冲间均设有日光灯及供消毒空气用紫外灯，杀菌紫外灯离工作台以1米为宜 ，其电源开关均应设在室外。

5．无菌室与缓冲间进出口应设拉门，门与窗平齐，门缝要封紧，两门应错开，以免空气对流造成污染。

6．无菌室的使用与管理

（1） 无菌室应保持清洁整齐，室内存放必须的检验用具如酒精灯、酒精棉、火柴、镊子、接种针、接种环等。不要放与检测无关的物品

（2） 室内检验用具及凳桌等保持固定位置，不随便移动。

（3） 每2―3周用2%石炭酸水溶液擦拭工作台、门、窗、桌、椅及地面，然后用3%石炭酸水溶液喷雾消毒空气，紫外灯杀菌半小时。

净室被习惯 地应用在对环境污染特别敏感的行业。辽宁电子厂房环境检测值得推荐

3、照度

a)在工作台面上，沿工作台面两内侧壁中心连线设置照度测量点，测量点之间的距离不超过300mm，与侧壁距离为150mm；

b)关掉安全柜的灯，从一侧起依次在测量点进行背景照度测量。平均背景照度应在110lx±50lx；

4、下降气流流速

在工作区上方高于前窗操作口上沿100mm的水平面上确定测量点位置，多点测量穿过该平面的下降气流流速；

a)测量点等距分布，形成的正方形栅格不大于150mm×150mm，测试点**少应有3排，每排**少应有7个测量点；

b)测试区域边界与安全柜的内壁及前窗操作口的距离应为150mm。

5、流入气流流速

测量排气气流流速确定流入气流流速(适于Ⅱ级A1、A2型安全柜)

a）用热式风速仪多点测量穿过排气过滤器面的气流流速，测量点为不大于100mm×100mm的栅格点，边界点距过滤器边缘100mm，测量面与过滤器面的距离约100mm；

b）计算各测点排气流速平均值即为平均排气流速（m/s），平均排气流速乘以排气面积（m²），得到排气流量（m³/s）；

c）排气流量（m³/s）除以前窗操作口面积（m²）,得到平均流入气流流速（m/s）； 湖南排风柜检测方便客户一般空调有的只有粗效一级过滤，要求较高的是粗效中效二级过滤处理。

 复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用，可提供局部超洁净之空气。

  (1)洁净隧道(Clean Tunnel)：以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域100%覆盖使洁净度等级提高至10级以上，可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离，以避免机器维修时影响了工作及品质，ULSI制程大都采用此种型式。

  洁净隧道另有二项优点：A.弹性扩充容易; B.维修设备时可在维修区轻易执行。

  (2)洁净管道(Clean Tube)：将产品流程经过的自动生产线包围并净化处理，将洁净度等级提至100级以上。因产品和作业员及发尘环境相互隔离，少量之送风即可得到良好之洁净度，可节省能源，不需人工的自动化生产线为适宜使用。药品、食品业界及半导体业界均适用。

  (3)并装局部洁净室(Clean Spot)：将洁净室等级10,000~100,000之乱流洁净室内之产品制程区的洁净度等级提高为10~1000级以上，以为生产之用;洁净工作台、洁净工作棚、洁净风柜即属此类。

洁净室制造竣工验收的调试工作1、凡有试运转要求的设备单机试运转应符合设备技术文件的有关规定。属于机械设备的共性要求还应符合国家相关规定和机械设备施工安装方面的有关行业标准。通常洁净室需进行单机试运转的设备有空调机组、送风增压风机箱、排风设备、净化工作台、静电自净器、洁净干燥箱、洁净储物柜等局部净化设备以及空气吹淋室、余压阀、真空吸尘清扫设备等。2、在单机试运转合格后需对送风系统、回风系统、排风系统的风量、风压调节装置进行设定与调整使各系统的风量分配达到设计要求。这个阶段检测的目的主要是服务于空调净化系统的调节与平衡往往需要反复进行多次。此项检测主要由承包商负责建设方的维护管理人员宜于跟进以便熟悉系统。在此基础上再进行包括冷、热源在内的系统联合试运转时间一般不少于8h。要求系统中各项设备部件包括净化空调系统、自动调节装置等的联动运转与协调过程中应动作正确无异常现象。洁净区是空气悬浮粒子浓度受控的限定空间，建造和使用应减少空间内诱入、产生及滞留粒子。

室内静压差的测试1、仪器设备及环境测量仪器倾斜微压计、数字微压计等。环境温度常温或设计温度下。2、抽样对有设计要求的各个相邻区域实施检测。3、静压差检测结果应符合下列规定。（1）相邻不同级别洁净室之间和洁净室与非洁净室之间的静压差应不小于5Pa。（2）洁净室与室外静压差应大于10Pa。（3）洁净度高于100级的单向流层流洁净室在开门状态下在出入口处的室内侧0.6m处不应测出超过室内级别上限的浓度。4、操作过程及判定（1）将所有的门关闭，将测定用胶管口径比较好在5mm以下从墙壁上的孔洞伸入室内在离壁面不远处，垂直于气流方向设置周围无阻挡气流扰动**小。（2）静压差的测定应从平面上**里面的房间，通常也就是洁净度级别比较高的房间，与其紧邻的房间之间的压差测起依次向外测定，直至测得**靠外的洁净室与周围附属环境之间、与室外环境之间的压差。（3）对于洁净度高于5级的单向流层流洁净室，还应测定在门开启状态下离门口0.6m处的室内侧工作面高度的粒子数。CMA资质方面：认可第三方检测机构，CMA计量认证资质。山东洁净工作台检测

一般空调系统对系统的气密性渗气量虽有要求。辽宁电子厂房环境检测值得推荐

温湿度洁净室或洁净设施温、湿度测定，通常分为两个档次：一般测试和综合测试。较早档次适用于处于空态的交竣验收测试，第二个档次适用于静态或动态的综合性能测试。这类测试适用于对温度、湿度性能要求比较严格的场合。本检测在气流均匀性检测之后和空调系统调整之后进行。进行这项检测时，空调系统已经充分运转，各项状况已经稳定。每个湿度控制区至少设置一个湿度传感器，并且给传感器充分的稳定时间。所做测量应适合实际使用的目的，待传感器稳定之后才开始测量，测量时间不少于5分钟。辽宁电子厂房环境检测值得推荐

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