2.4.1洁净厂房的自动控制系统宜采用集散式网络结构,并应具有稳定、可靠、节能、开放和可扩展性。12.4.2洁净厂房应对净化空调、供热、供冷、纯水和气体供应等系统进行自动监控。12.4.3洁净室(区)内外的压差监测,宜采用压差变送器通过控制系统调节洁净室(区)的送风量或回风量。12.4.4净化空调系统采用电加热器时,电加热器与风机应联锁控制,并应设置无风、超温断电保护;当采用电加湿器时,应设置无水、无风断电保护。12.4.5在满足生产工艺要求的前提下,宜对风机、水泵等动力设备采取变频调速等节能控制措施。无尘室是一种完全封闭、密封的房间,它的主要目的是控制空气中的尘埃颗粒数量。北京无尘室检测周期

E.2.1静压差的测定应在所有房间的门关闭时进行,有排风时,应在比较大排风量条件下进行,并宜从平面上极里面的房间依次向外测定相邻相通房间的压差,直至测出洁净区与非洁净区、室外环境(或向室外开口的房间)之间的压差。E.2.2对于洁净度5级或优于5级的单向流洁净室,还应测定在门开启状态下,离门口0.6m处的室内侧工作面高度的粒子数。E.2.3有不可关闭的开口与邻室相通的洁净室,还应测定开口处的流速和流向。E.2.1静压差的测定应在所有房间的门关闭时进行,有排风时,应在比较大排风量条件下进行,并宜从平面上极里面的房间依次向外测定相邻相通房间的压差,直至测出洁净区与非洁净区、室外环境(或向室外开口的房间)之间的压差。E.2.2对于洁净度5级或优于5级的单向流洁净室,还应测定在门开启状态下,离门口0.6m处的室内侧工作面高度的粒子数。E.2.3有不可关闭的开口与邻室相通的洁净室,还应测定开口处的流速和流向。浙江温湿度无尘室检测频率洁净厂房中主要以垂直构件分隔构成的井式管廊,用于安装辅助设备和公用动力设施以及管线等。

13.2.5洁净厂房防静电环境的净化空调系统送风口和风管,应选用导电材料制作,并应接地。13.2.6洁净厂房防静电环境的净化空调系统、各种配管使用部分绝缘性材质时,应在其表面安装金属网,并应将其接地。当使用导电性橡胶软管时,应在软管上安装与其紧密结合的金属导体,并应采用接地引线与其可靠连接接地。13.2.7洁净厂房防静电环境中,应根据生产工艺的需要设置静电消除器.防静电安全工作台。13.2.5洁净厂房防静电环境的净化空调系统送风口和风管,应选用导电材料制作,并应接地。13.2.6洁净厂房防静电环境的净化空调系统、各种配管使用部分绝缘性材质时,应在其表面安装金属网,并应将其接地。当使用导电性橡胶软管时,应在软管上安装与其紧密结合的金属导体,并应采用接地引线与其可靠连接接地。13.2.7洁净厂房防静电环境中,应根据生产工艺的需要设置静电消除器.防静电安全工作台。
6.2.3洁净厂房内防火分区的划分,应符合现行国家标准《建筑设计防火规范》GB50016的有关规定。丙类生产的电子工业洁净厂房的洁净室(区),在关键生产设备设有火灾报警和灭火装置以及回风气流中设有灵敏度严于0.01%obs/m的高灵敏度早期火灾报警探测系统后,其每个防火分区的最大允许建筑面积可按生产工艺要求确定。6.2.4洁净室的上技术夹层、下技术夹层和洁净生产层,当按其构造特点和用途作为同一防火分区时,上下技术夹层的面积可不计人防火分区的建筑面积,但应分别采取相应的消防措施。6.2.5洁净室的顶棚和墙板、技术竖井井壁的材质选择,应符合现行国家标准《洁净厂房设计规范》GB50073的有关规定。指洁净室内离地面高度0.8~15m(除工艺特殊要求外)的区域。

6.3.1洁净厂房的建筑围护结构和室内装修,应选用气密性良好,且在温度和湿度变化时变形小的材料。洁净室装饰材料及其密封材料不得采用释放对电子产品品质有影响物质的材料。装修材料的燃烧性能应符合现行国家标准《建筑内部装修设计防火规范》GB50222的有关规定。装修材料的烟密度等级不应大于50,材料的烟密度等级应符合现行国家标准《建筑材料燃烧或分解的烟密度试验方法》GB/T8627的有关规定。6.3.2洁净室内墙壁和顶棚的装修应符合下列要求:1应满足使用功能的要求,且表面应平整、光滑、不起尘、避免眩光、便于清洁,并应减少凹凸面,2当采用踢脚时,踢脚不宜突出墙面。指洁净室(区)在生产操作全部结束,生产操作人员撤离现场并经过20 min自净后。上海静电无尘室检测认真负责
洁净室在现代工业中早已被广泛应用于半导体生产。北京无尘室检测周期
E.1.1风量风速检测必须首先进行,净化空调各项效果必须是在设计的风量风速条件下获得。E.1.2风量检测前必须检查风机运行是否正常,系统中各部件安装是否正确,有无障碍,所有阀门应固定在一定的开启位置上,且必须实际测量被测风口、风管尺寸。E.1.3测定室内微风速仪器的小刻度或读数不应大于0.02m/s,一般可用热球式风速仪,需要测出分速度时,应采用超声波三维风速计。E.1.4对于单向流洁净室,可采用室截面平均风速和截面积乘积的方法确定送风量,垂直单向流洁净室的测定截面取距地面0.8m的无阻隔面(孔板、格栅除外)的水平截面,如有阻隔面,该测定截面应抬高至阻隔面之上 0.25m;水平单向流洁净室取距送风面 0.5m 的垂直于地面的截面,截面上测点间距不应大于1m,一般取 0.3m。测点数应不少于 20 个,均匀布置。E.1.5对于非单向流洁净室,内安装过滤器的风口可采用套管法、风量罩法或风管法测定风量,为测定回风口或新风口风量,也可用风口法。北京无尘室检测周期
洁净室检测前的准备工作与环境确认检测前的准备工作直接影响数据的准确性和可靠性,需遵循"人、机、料、法、环"***确认原则。人员方面,检测人员需穿戴与洁净室级别匹配的洁净服,经风淋室吹淋后进入,避免化妆品、首饰等外带污染物;设备方面,提前24小时将检测仪器放入洁净室适应环境,完成开机预热、零点校准和流量校正(如粒子计数器需用标准粒子进行校准);物料方面,确认检测用培养基、采样耗材已通过灭菌处理(如浮游菌采样器需提前湿热灭菌121℃/30分钟);方法方面,根据检测方案制定记录表格,明确测点位置、检测频次和判定标准;环境方面,检测**小时停止洁净室清洁消毒(避免消毒剂残留影响微生物检测),确认净化系...