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高效、超高效过滤器效率检测方法

(1)钠焰法。用雾化干燥的方法人工发生氯化的气溶胶气溶胶颗粒的中值粒径约为0.5 um将过逮器上下游的氯化钠气溶胶采集到燃烧器中并在氧气火焰中燃烧，将燃烧产生的纳焰光度(波长为589 mm的特征光)转变为电信号，并由光电测量仪器检测，电流值了氯化钠气溶胶的质量浓度，用测定的电流值即可求出过滤器的过滤效率。

(2)油雾法。尘源为油雾。用浊度计测量受试过速器前后的油雾浊度差来判断过滤器对油雾的过滤效率。

(3) DOP法。试验用尘源为0.3 um单分散相，以邻苯二甲酸二辛酯(DOP, di -0-ty- phthalate)液滴为气溶胶粒子来测量高效过滤器的效率。所用仪器为光度计或浊度计，测量的值是受试过滤器前后的浊度差，并由此确定过滤器对0. 3 μm粒径粉尘的过滤效率。

(4) MPPS效率。MPPS是Most Penetrable Particulate Size的缩写，可译为“**易穿透粒径”或“比较大穿透粒径”。 动态：处于正常使用的洁净室，服务功能完善，有设备和人员。江苏消毒液净化车间环境检测诚信推荐

洁净度检测的意义

在洁净室或洁净区的检测参数中，洁净度是主要的参数，也是建设单位关心的参数，尤其是运行状态下的洁净室空气洁净度等级，即生产设备运转及操作人员在场的工作状态时的检测结果( 动态检测结果)。但施工单位通常希望在空态下进行检测，因此洁净室在检测之前要明确洁净室的占用状态是空态、静态还是动态。

空态测试：洁净室已竣工，净化空气调节系统已处于正常运行状态，室内没有工艺设备和生产人员的情况下进行测试。

静态测试：洁净室净化空气调节系统已处于正常运行状态，工艺设备已安装，室内没有生产人员的情况下进行测试。

动态测试：洁净室已处于正常生产状态下进行测试。洁净室的风量、风速、正压、温度、湿度、噪声的检测，可按一般通用、空气调节的有关规定执行。

辽宁电子厂房环境检测值得推荐洁净室气密性、紫外辐射照度测试——上海蔚亚科技。

《电子工业洁净厂房设计规范》(GB 50472- 2008)。 本标准“附录D洁净室(区)性能测试和认证”的要点:

1)风速和风量的检测。对于单向流洁净室，检测平面应取离高效过滤器300mm垂直于气流的截面。

2)静压差的检测。检测静压差的时候应该关闭全部门窗。检测仪器的灵敏度应小于1.0Pa。有多个洁净室时，应由里向外按顺序检测。

3)空气过滤器安装后的检漏。光学粒子计数器的采样量应大于1 L/min。应在过滤器的上风侧引人不小于0.1 um (0.5 μm)的粒子，其浓度应大于3.5x10 pc/m'。微粒仪距离滤器表面20 ~30 mm处等速采样，并以5 ~ 20 mm/s速度移动。

4)洁净度的检测。少采样点和每次少采样量与ISO 14644基本相同。

5)温度和湿度的检测。检测点的覆盖面积不大于100m2。每个房间不少于2个检测点。检测点应设在洁净室工作高度，且距吊顶、墙和地面不少于300 mm。

6)噪声的检测。每100m²设1个检测点。检测点距地面1.1~1.5m，距墙大于3 m。

7)照度的检测。检测点应设在洁净室工作高度，宜距地面0. 85m,每25 m²设1个检测点。

工业洁净室的发展

工业洁净室(ICR, Idutra Clem Rom)以空气中的悬浮颗粒物为主要控制对家，主要为精密机械和电子产品等行业提供符合要求的生产环境。

与其他高科技一样， 洁净技术的诞生及起初应用是服务于目的的。第二次世界大战中一些炮、 战车、飞机等使用的仪器合格率低或经常发生故障。研制者认识到，仪器生产与装配环境空气中的悬浮颗粒物是罪魁祸首，于是工业洁净室诞生了。起初的工业洁净室是比较简陋的，随着原子武器研究和生化武器研究的发展，在20世纪40年代初高效空气过滤器研制成功并得到应用，20世纪60年代初又出现了“单向流”洁净室，这些设备与技术的诞生成为洁净技术发展的里程碑，奠定了现代洁净技术的基础。

微电子行业是现代工业洁净室应用的表现。主要产品是大规模集成电路和平板显示器。半个多世纪以来，集成电路得到迅猛发展。 洁净室以空气悬浮粒子浓度为主要控制对象。

 空气洁净技术的发展历程

空气洁净技术(又称洁净技术或洁净室技术)初是指以控制室内空气中悬浮赖科浓度为目标的相关技术。悬浮颗粒物的浓度用单位体积空气中大于等于某一粒径的颗粒物的允许数量来表示，通常也称为空气的洁净度，并以此来划分洁净度等级。

初运用洁净技术是为了提高精密产品(如仪器仪表)的成品率或降低其故障率。随着科学技术的发展，各种工业产品特别是微电子产品的精密度越来越高，对生产环境的洁净度要求也越来越高，控制的对象也从单一的悬浮颗粒物扩 展到有害气体。洁净技术在控制空气中的悬浮颗粒物的同时，也有效地控制了空气中的细的和有害微生物，所以又逐步推广到医疗、制药、生物等领域，形成了当前比较完善的洁净技术体系。 上海蔚亚科技专门洁净室检测。广东洁净室环境检测规范性强

蔚亚作为洁净室检测第三方，针对洁净室检测项目不达标出现的常见问题以及产生的原因，在此与大家分享。江苏消毒液净化车间环境检测诚信推荐

风速风量换气次数

洁净室、洁净区的洁净度主要是靠送入足够量的洁净空气，以排替、稀释室内产生的颗粒污染物来实现的。为此，测定洁净室或洁净设施的送风量、平均风速、送风均匀性、气流流向及流型等项目十分必要。

单向流主要是依靠洁净气流推挤、排替室内、区内的污染空气以维持室内、区内的洁净度。因此，其送风断面风速及均匀性是影响洁净度的重要参数。较高的、较均匀的断面风速能更快、更有效地排除室内工艺过程产生的污染物，因此它们是主要关注的检测项目。

非单向流主要是靠送入的洁净空气来冲淡与稀释室内、区内的污染物以维持其洁净度。因此，换气次数越大，气流流型合理，稀释效果越明显，洁净度也相应提高。所以非单相流洁净室、洁净区的送风量及相应的换气次数，是主要关注的气流测试项目。 江苏消毒液净化车间环境检测诚信推荐