真空计是用于测量真空度的设备，其工作原理及测量范围对于了解真空技术至关重要。在真空镀膜机的腔体内，真空测量是指利用专门的仪器和装置来测定某一封闭空间内的真空度。这些仪器或装置被称为真空计（或规管），种类繁多，常见的分类方式是根据其测量原理。直接通过测定物理参数来获取气体压强的真空计被称为***真空计，例如U型压力计和压缩式真空计。***真空计测量气体压强较为准确，不受气体成分影响。而相对真空计则通过测量与压强相关的物理量，再与***真空计对比来得出压强值，例如放电真空计、热传导真空计和电离真空计。相对真空计的测量准确度略逊于***真空计，且测量结果与气体种类相关。在实际生产中，除了真空校准外，相对真空计的应用更为***。 把待测压强气体的一部分进行隔离并加以压缩，直到压强增大到可以直接测量真空计的程度。工厂真空计
工作原理播报编辑两种真空计在不同压强区间发挥测量作用：1.热偶真空计加热电流恒定状态下，热电偶电势与气体热传导系数呈正相关。当压强低于10Pa时气体导热系数随压强降低而减小，通过热电偶输出电势变化反映真空度。有效测量范围为100-0.1Pa [4]。2.热阴极电离真空计灯丝加热至2200K发射热电子，经150V栅极电压加速后与气体分子碰撞产生正离子。收集极在-25V偏压下捕获离子形成电流，该电流与气体压强成线性关系 [4]。典型工作范围为0.1-1×10⁻⁵Pa。设备通过动态切换机制实现量程衔接：当热偶计检测到压强低于10⁻¹Pa时，自动开启电离计 [1] [4]。ZDF-1A/B型具备1-99分钟可调延时切换功能，防止频繁启停损坏灯丝 [1]EDKORS真空计技术参数为改善真空计性能及提高真空测量准确度，必须突出主要现象。表1给出一些真空计的压力测量范围。
这些真空泵按工作原理大致可以分为两类。一类是真空计将气体不断吸入并排出体外的泵，例如机械泵、涡轮分子泵；一类是将气体分子吸附在内壁上的泵，例如钛升华泵、低温吸附泵、吸氢气泵。不管工作原理如何，这些泵的**终目的都是减少腔体内的气体分子数。由于不同泵的构造不同，每种泵都有自己的工作区间，只有在一定的压强范围内才可以正常工作，否则就会损坏。不同泵的工作压强区间如下图所示。从上图我们可以看出，要达到超高真空，只用一种泵是无法实现的，需要不同种类的泵接力，像极了我们做科研的过程，不是吗？团队合作。在实验室，我们先用机械泵抽到粗真空，再打开分子泵抽到高真空，**后用离子泵或者钛升华泵抽到实验所需的真空状态。
真空计用隔膜真空泵使用安装步骤了解一下呢1、隔膜真空泵应安装在地面结实坚固的场所，周围应留有充分的余地，便于检查、维护、保养。2、隔膜真空泵底座下应保持地基水平，底座四角处建议垫减震橡皮或用螺栓浇制安装，确保隔膜真空泵运转平稳，振动小3、隔膜真空泵与系统的连接管道应密封可靠，对小隔膜真空泵可采用金属管路连接密封垫采用耐油橡胶，对小隔膜真空泵可采用真空胶管连接，管道管径不得小于隔膜真空泵吸气口径，且要求管路短而少弯头。(焊接管路时应***管道中焊渣，严禁焊渣进入隔膜真空泵腔。)真空计已经随着商业工业进步，走进平常生活紧密相关的领域。
在连接管路中，用户可在隔膜真空泵进气口上方安装阀门及真空计，随时可检查隔膜真空泵的真空计压力。5、按电动机标牌规定连接电源，并接地线和安装合适规格的熔断器及热继电器。6、隔膜真空泵通电试运转时，须取下电机皮带，确认隔膜真空泵转向符合规定方向方可投入使用，以防隔膜真空泵反转喷油。(转向按防护罩指示方向)7、对于有冷却水的隔膜真空泵，按规定接通冷却水。8、当隔膜真空泵排出气体影响工作环境时，可在排气口装接管道引离或装接油雾过滤器。9、如隔膜真空泵口安装电磁阀时，阀与隔膜真空泵应同时动作。真空计测量范围压力测量中，除极少数直接测量外，绝大多数是间接测量。品牌真空计平台
按照真空计测量原理所利用的不同的物理机制，可将主要的真空计分为三大类。工厂真空计
可以看出虽然我们已经抽到了超高真空，但是腔体内的分子数还是很多很多，这就是为什么我们要在超高真空条件下进行实验的原因。讲了这么多，不知道你有没有想过，我们是如何知道腔体内的真空度有多高的呢？度量真空的仪器——真空计是的，就像我们有温度计和湿度计一样，我们也有测量真空度的仪器——真空计。我们已经知道，真空度的高低是用压强大小来衡量的，因此，真空计也是通过测量压强的大小来反映真空度的。真空计根据其工作原理大致可以分为两类：一类直接测量压强的大小，称为***真空计，例如U型真空计、压缩式真空计；一类是通过测量与压强有关的物理量，间接标定压强的数值，称为相对真空计，例如热传导真空计、电离真空计。在实验室常用的一般是相对真空计。 工厂真空计
