复合真空计播报编辑讨论上传视频由热偶与热阴极电离真空计组成的真空测量装置复合真空计是将热偶真空计和热阴极电离真空计组合而成的宽量程真空测量设备，测量范围覆盖大气压至10⁻⁵Pa [2]。热偶真空计通过气体热传导效应测量10²-10⁻¹Pa区间的低真空，热阴极电离真空计利用电子碰撞电离原理检测10⁻¹-10⁻⁵Pa范围的高真空。两种真空计在10⁻¹Pa量级通过自动切换机制衔接，有效避免电离规管在高压强工况下损坏 [1] [4]。该设备广泛应用于真空镀膜、电子束焊接等工业场景，具备自动校准与多通道控制功能薄膜电容真空计又称CBB电容，它有聚丙烯膜和聚酯膜两种介质分类。梅思安真空计图片
注意事项1.禁止用锐器或硬物捅引压孔内部膜片，这会引起传感器压力膜片损坏，导致无法维修。2.对于雷击频繁区域，建议线路中加装防雷装置。特别注意：以下几种情况不属于我公司质保范围：1.被测介质中含有颗粒或者粘性介质堵塞引压孔，损坏传感器膜片无法修复的。2.静态压力过载打坏传感器芯体。3.脉冲压力冲击损坏传感器芯体。4.未按照标牌要求提供合适电源，大电压烧坏变送器线路模块。5.未在标牌要求的介质温度范围内使用。6.压力过载到3倍满量程以上。7.未联系厂家自行拆卸产品出现的质量问题。发展真空计口碑好相对真空计则是必须经过真空计的校准之后才能进行真空度的测量。
NC610A真空计广泛应用于光伏、太阳能等行业的真空炉上。冷阴极型（如潘宁计）：利用高压电场和磁场使残余气体电离，无需加热阴极。离子电流同样与气体分子密度相关。特点：量程：通常为10−9Torr至10−3Torr，适合高真空至超高真空。优点：高真空下精度高（信号与气体分子密度直接相关）。对气体种类不敏感（电离截面差异可忽略）。局限性：热阴极型需加热阴极，可能污染系统（蒸发材料）。冷阴极型在低真空下可能无法启动（需足够残余气体维持真空计电离）。
在真空镀膜机腔体内，真空计测量是一项关键技术，它涉及使用专为这一目的设计的仪器和装置，即真空计，来测定特定空间内的真空度。真空测量分为***真空计和相对真空计。***真空计直接测量物理参数以确定气体压强，如U型压力计和压缩式真空计，它们不受气体成分影响，测量准确度高，但在极低气体压强下直接测量变得困难。相对真空计则通过测量与压强相关的物理量，再与***真空计对比得出压强值，如放电真空计、热传导真空计和电离真空计等。这类真空计的测量准确度稍逊于***真空计，且结果可能受气体种类影响。在实际应用中，特别是在非校准场合，相对真空计更为常见。真空计已经随着商业工业进步，走进平常生活紧密相关的领域。
结构组成播报编辑复合真空计包含热偶规管与电离规管两个**组件：热偶规管采用玻璃外壳，内部设有V形加热丝和倒V形镍铬-镍硅热电偶，通过测量加热丝温度变化推算压强电离规管为三极管结构，包含钨制灯丝、螺旋栅极和筒状收集极，灯丝发射电子经栅极加速后电离气体分子 [4]部分型号（如ZDF-1A/B）还集成金属电阻规，形成三通道测量系统。设备控制系统内置微处理器，实现AD高速转换和误差修正功能 [1]。复合真空计是将热偶真空计和热阴极电离真空计组合而成的宽量程真空测量设备，测量范围覆盖大气压至10⁻⁵Pa真空计 能从液柱高度、比重等本身测得的物理量直接计算出气体压力的真空计。机械真空计操作
要看真空计的安装方法、操作性能、保修、管理、市场有无销售、购买的难易程度和规格如何。梅思安真空计图片
这些真空泵按工作原理大致可以分为两类。一类是真空计将气体不断吸入并排出体外的泵，例如机械泵、涡轮分子泵；一类是将气体分子吸附在内壁上的泵，例如钛升华泵、低温吸附泵、吸氢气泵。不管工作原理如何，这些泵的**终目的都是减少腔体内的气体分子数。由于不同泵的构造不同，每种泵都有自己的工作区间，只有在一定的压强范围内才可以正常工作，否则就会损坏。不同泵的工作压强区间如下图所示。从上图我们可以看出，要达到超高真空，只用一种泵是无法实现的，需要不同种类的泵接力，像极了我们做科研的过程，不是吗？团队合作。在实验室，我们先用机械泵抽到粗真空，再打开分子泵抽到高真空，**后用离子泵或者钛升华泵抽到实验所需的真空状态。 梅思安真空计图片
