二、相对真空计的主要类型1.热传导真空计热传导真空计是利用气体在不同压力下对热量传递的影响来测量真空度的。在低真空范围内，其测量精度高，稳定性好。但由于其依赖气体的热传导性质，因此在不同气体组分的环境下，可能需要进行校准。2.电离真空计电离真空计的工作原理是通过电场加速电子，使气体分子电离，从而产生电流。该电流的大小取决于气体分子的数量和能量，因此可以作为测量真空度的依据。电离真空计适用于测量高真空和超高真空范围，且响应速度快，但对使用环境要求较高。真空计可分为真空计和相对真空计两大类。煤安矿用真空计拆装
电离真空计的构造与测量机制电离真空计是一种广泛应用于真空度测量的仪器，其工作原理基于气体分子的电离。根据气体电离源的不同，电离真空计可分为热阴极和冷阴极两大类。电离真空计通过气体电离产生离子流测量压强，类型多样，适合不同真空度范围。该仪器主要由三个电极组成：发射电子的灯丝作为发射极A，负责加速电子的栅极（或称为加速极）B，以及收集离子的圆筒型电极C。电阻真空计，作为热传导真空计的一种，其工作原理是利用测量真空中热丝的温度来间接获得真空度的大小。一体式真空计为改善真空计性能及提高真空测量准确度，必须突出主要现象，控制寄生现象。给出一些真空计的压力测量范围。
在真空镀膜机腔体内，真空计测量是一项关键技术，它涉及使用专为这一目的设计的仪器和装置，即真空计，来测定特定空间内的真空度。真空测量分为***真空计和相对真空计。***真空计直接测量物理参数以确定气体压强，如U型压力计和压缩式真空计，它们不受气体成分影响，测量准确度高，但在极低气体压强下直接测量变得困难。相对真空计则通过测量与压强相关的物理量，再与***真空计对比得出压强值，如放电真空计、热传导真空计和电离真空计等。这类真空计的测量准确度稍逊于***真空计，且结果可能受气体种类影响。在实际应用中，特别是在非校准场合，相对真空计更为常见。
冷阴极真空计（ColdCathodeGauge，如潘宁计）原理：基于高压电场与磁场协同作用下的气体放电效应。结构包含两个阴极和一个阳极，外加轴向磁场。高压电场使阴极发射电子，电子在磁场中螺旋运动，增加与气体分子的碰撞概率，导致电离。电离产生的正离子被阴极捕获，形成离子电流，其大小与气体分子密度成正比。特点：量程：通常为10−6Torr至10−3Torr，适合中高真空。优点：无加热元件，结构简单、寿命长。对振动不敏感（适合航天等恶劣环境）。局限性：低真空下响应慢（需足够残余气体维持放电）。测量结果可能受磁场均匀性影响。本质区别总结类型**物理效应信号来源适用量程对气体种类敏感性皮拉尼计热传导效应金属丝电阻变化低真空至中真空高（需校准）热阴极电离计气体电离效应离子电流高真空至超高真空低（可忽略）冷阴极计（潘宁）高压电场+磁场放电效应离子电流中高真空低。 尽可能扩展每一种方法的量程，是真空计科学研究的重要内容之一。
为什么实验室需要超高真空条件呢？想象一下你变得跟一个分子一样大小，就像《蚁人》里面那样，你就会看到空气中1023量级的分子数，这些分子落在样品表面，就会把样品污染，无法探测样品表面的性质。那么在超高真空的腔体中，究竟还有多少分子呢？我们来做一个简单的计算。在统计力学课上我们学过，利用经典力学规律，把气体分子看成刚性小球，可以用统计的方法得出气体压强公式：其中，n为气体分子数密度，m是分子质量，按照国际单位制，压强的单位为Pa根据能量均分定律，把每个气体分子看作质点（即简化为有质量的点），真空计有三个振动自由度x,y,z，每个自由度的平均能量为大部分真空计的读数与气体种类和成分有关。泵吸式真空计操作
薄膜电容真空计又称CBB电容，它有聚丙烯膜和聚酯膜两种介质分类。煤安矿用真空计拆装
项目概况中国科学院近代物理研究所真空计竞争性磋商采购项目采购项目的潜在供应商应在北京市海淀区丹棱街1号互联网金融中心20层获取采购文件，并于2025年09月25日09点30分（北京时间）前提交响应文件。一、项目基本情况项目编号：OITC-G项目名称：中国科学院近代物理研究所真空计竞争性磋商采购项目采购方式：竞争性磋商预算金额：172.000000万元（人民币）采购需求：供应商须以包为单位对该包中的全部内容进行响应，不得拆分，不完整的报价将被拒绝。竞争性磋商及评审、推荐成交供应商以包为单位。2、技术要求详见公告附件。煤安矿用真空计拆装
