可以看出虽然我们已经抽到了超高真空，但是腔体内的分子数还是很多很多，这就是为什么我们要在超高真空条件下进行实验的原因。讲了这么多，不知道你有没有想过，我们是如何知道腔体内的真空度有多高的呢？度量真空的仪器——真空计是的，就像我们有温度计和湿度计一样，我们也有测量真空度的仪器——真空计。我们已经知道，真空度的高低是用压强大小来衡量的，因此，真空计也是通过测量压强的大小来反映真空度的。真空计根据其工作原理大致可以分为两类：一类直接测量压强的大小，称为***真空计，例如U型真空计、压缩式真空计；一类是通过测量与压强有关的物理量，间接标定压强的数值，称为相对真空计，例如热传导真空计、电离真空计。在实验室常用的一般是相对真空计。 真空计是利用不同气压下气体的某种物理效应的变化气压的测量。在科研和工业生产中使用。一体式真空计安装
在真空镀膜机腔体内，真空计测量是一项关键技术，它涉及使用专为这一目的设计的仪器和装置，即真空计，来测定特定空间内的真空度。真空测量分为***真空计和相对真空计。***真空计直接测量物理参数以确定气体压强，如U型压力计和压缩式真空计，它们不受气体成分影响，测量准确度高，但在极低气体压强下直接测量变得困难。相对真空计则通过测量与压强相关的物理量，再与***真空计对比得出压强值，如放电真空计、热传导真空计和电离真空计等。这类真空计的测量准确度稍逊于***真空计，且结果可能受气体种类影响。在实际应用中，特别是在非校准场合，相对真空计更为常见。一体式真空计联系方式部分高精度薄膜真空计是间接测量，只有压力为105～lOPa时，可直接测单位面积所受的力。
在连接管路中，用户可在隔膜真空泵进气口上方安装阀门及真空计，随时可检查隔膜真空泵的真空计压力。5、按电动机标牌规定连接电源，并接地线和安装合适规格的熔断器及热继电器。6、隔膜真空泵通电试运转时，须取下电机皮带，确认隔膜真空泵转向符合规定方向方可投入使用，以防隔膜真空泵反转喷油。(转向按防护罩指示方向)7、对于有冷却水的隔膜真空泵，按规定接通冷却水。8、当隔膜真空泵排出气体影响工作环境时，可在排气口装接管道引离或装接油雾过滤器。9、如隔膜真空泵口安装电磁阀时，阀与隔膜真空泵应同时动作。
真空计与压强的关系为，真空度越高，压强越小；真空度越低，压强越大。正因为此，真空度的单位用的是压强单位。一个标准大气压用帕斯卡（Pa）表示为1atm=1.013×105Pa这样我们就得到不同真空单位之间的换算关系。有了单位，我们就可以对真空度进行划分。国际上没有统一的划分标准，常用的划分是这样的，粗真空：760Torr~1Torr低真空：1Torr~10-3Torr一般真空：10-3Torr~10-6Torr高真空：10-6Torr~10-9Torr超高真空：10-9Torr~10-12Tor那么有了这个标准，我们上面提到的针管中的真空以及托里拆利实验中的真空就都属于粗真空的范畴了。那么实验室里常用的超高真空状态是怎么实现的呢？这就涉及到了我们的**内容——真空泵。对低真空和高真空的测量不能用一种真空计来完成，而应采用复合真空计，较多的是电离与热偶式复合真空计。
NC610A真空计广泛应用于光伏、太阳能等行业的真空炉上。冷阴极型（如潘宁计）：利用高压电场和磁场使残余气体电离，无需加热阴极。离子电流同样与气体分子密度相关。特点：量程：通常为10−9Torr至10−3Torr，适合高真空至超高真空。优点：高真空下精度高（信号与气体分子密度直接相关）。对气体种类不敏感（电离截面差异可忽略）。局限性：热阴极型需加热阴极，可能污染系统（蒸发材料）。冷阴极型在低真空下可能无法启动（需足够残余气体维持真空计电离）。如果大家仔细观察很多现代真空技术生产线设备，会发现这种Tamagawa真空计小部件，应用繁多。扩散式真空计销售
与热阴极电离真空计一样，利用低压力下气体分子的电离电流与压力有关的特性，用放电电流做为真空度的测量。一体式真空计安装
工作原理播报编辑两种真空计在不同压强区间发挥测量作用：1.热偶真空计加热电流恒定状态下，热电偶电势与气体热传导系数呈正相关。当压强低于10Pa时气体导热系数随压强降低而减小，通过热电偶输出电势变化反映真空度。有效测量范围为100-0.1Pa [4]。2.热阴极电离真空计灯丝加热至2200K发射热电子，经150V栅极电压加速后与气体分子碰撞产生正离子。收集极在-25V偏压下捕获离子形成电流，该电流与气体压强成线性关系 [4]。典型工作范围为0.1-1×10⁻⁵Pa。设备通过动态切换机制实现量程衔接：当热偶计检测到压强低于10⁻¹Pa时，自动开启电离计 [1] [4]。ZDF-1A/B型具备1-99分钟可调延时切换功能，防止频繁启停损坏灯丝 [1]一体式真空计安装
