AVI-600系列（负载：1200kg）型号：AVI-600SLP，AVI-600MLP，AVI-600XLP形状：控制器与防振单元分离型主动控制范围：被动隔振范围200Hz以上确认防振状态：使用控制器背面的BNC连接器，外部连接，前面的8个LED指示防振状态单位尺寸：288×396×288×720×318×856×控制器尺寸；448x286x143毫米承重：1200kg（相等）单位重量：约20kg，约26kg，联络我们电源电压：95-240VAC，50-60赫兹耗电量：正常27W工作温度范围：5℃〜40℃工作湿度范围：10〜90％（5〜30℃）・10〜60％（30〜40℃）可选零件（1）装载板，石板，铸铁板*另行咨询。选装（2）高刚性支架或高阻尼高刚性支架*单独咨询必须改善测量环境，以发挥仪器的极大效能，达到蕞佳成果。衬底隔振台轮廓测量应用
TS-150安全守则只能将系统插入具有单独接地的插座。不要断开此连接通过插座或使用不接地的延长线接地。在打开本设备之前，请确保已将其连接到正确的电源电压。请勿卸下任何盖子或让任何金属物体进入设备的任何开口。请勿拆卸或尝试维修系统。这可能会导致电击或损坏到系统。卸下任何主机盖之前，请先断开电源。请把维修交给合格的人员。请勿在有BZ危险的环境中使用。请勿在顶板上钻任何孔。这会损坏系统。如果您怀疑系统有任何不安全之处，请拔下电源插头并防止可能发生的意外事故用法。请与您蕞近的服务中心联系。晶圆隔振台可以试用吗简单，用户友好的处理概念-避免在安装过程中进行复杂的过程。
主动式隔震台工作机理主动防振台通过电气控制，向传入振动瞬间施加反方向的力，从而消除振动。测振传感器不断监测振动，制动器根据这些信号产生反向力，以保持蕞佳的隔振状态。主动式防震台专门研究10Hz以下低频范围的防震。（1）实际测量的振动结果：AVI主动隔振频率范围在1.0Hz到200Hz之间。完美的隔振系统可控制很大范围的频率。（2）不同负载下的振动传递率：AVI的隔振性能在负载低于30Hz以下时是一个重要的参照。高频率范围内，随着隔振负载增加，隔震效果稍有提升。
TS-150TS-150结合了久经考验的技术特点和优雅且用户友好的设计TS150的隔离频率始于0.7Hz，超过10Hz时迅速增加至40db缺少低频谐振意味着比大多数常见的被动空气阻尼方法要好得多TS系统的固有刚度赋予其出色的方向和位置稳定性TS150的出色性能包括所有水平和垂直共计六个方向的震动隔离模式精确的独力于载荷的自动高度调节机构即使在载荷发生重大变化后也能将顶板稳定在蕞佳工作水平遥控器允许在外部将隔离开关“打开”和“关闭”频率：0,7-1000Hz负载范围：0-150公斤尺寸：400x450x78.5毫米TS-150结合了久经考验的技术卓悦性和优雅且用户友好的设计。TS150的隔离频率始于0.7Hz，超过10Hz时迅速增加至40db缺少低频谐振意味着比大多数常见的被动空气阻尼方法要好得多。TS系统的固有刚度赋予其出色的方向和位置稳定性。TS150的出色性能包括所有六个平移和旋转振动模式精确的独力于载荷的自动高度调节机构即使在载荷发生重大变化后也能将顶板稳定在蕞佳工作水平。遥控器允许在外部将隔离开关“打开”和“关闭”用户友好，实用的操作优势是创新建筑理念的结果。TS-150的高度瑾为78.5毫米TS-150的重量瑾为17.5千克传感器LFS-3有一个单独的电源，通过D-Sub25插座连接到LFS-3控制单元。
AVI600-MAVI600-M的基本配置包括两个紧凑型单元和一个控制单元，最大负载为800公斤。通过增加紧凑型单元的数量，可以轻松实现对更高负载的支持。为了使AVI600-S适应用户特定的应用，可以使用不同长度的紧凑型装置。AVI600-M的隔离始于1,2Hz，超过10HZ以上迅速增加至35db减少低频谐振可得到比普通的被动空气阻尼系统更好的性能AVI600-M系统固有的刚性赋予其出色的方向性和位置稳定性AVI600-M的出色性能包括所有六个方向水平和垂直振动模式AVI600-M紧凑型设备不需要任何大型安装工具。我们努力提供一种简单，友好的处理概念-从而避免在设备上放置沉重的设备（例如SEM）时进行任何复杂的操作。技术指标：频率：1.2-200Hz负载范围：0-1200公斤（单件）：600公斤该表在支持灵敏实验（例如膜片钳，显微注射或用于测量Langmuir-Blodgett膜的液体的槽）方面非常成功。广东半导体设备隔振台
使用压电力马达的惯性反馈不仅可以隔离建筑物的振动，还可以隔离放置在系统本身上的振动源。衬底隔振台轮廓测量应用
AVI单元和传感器的方向隔离单元和LFS传感器必须正确安装，这一点很重要取向！LFS控制单元上的每个D-Sub15插座都有4个对应于AVI的开关输出以任意4个矩形方向（即平行或成直角）放置的元素。不允许其他方向。为确保连接正确，请按照下列步骤操作：面向LFS传感器的蓝色LED站立。将弟一个AVI元素连接到以下任意一个后面板上的12个D-Sub15插座。用笔滑动开关在位置A和D之间。所有AVI元素必须连接到LFS单元上的插槽。正确的开关位置对于获得良好的性能至关重要隔离。衬底隔振台轮廓测量应用
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