重庆晶圆PAT平台

在半导体制造中，晶圆厂制程的任何微小变动，都可能引起良率与可靠性的风险。其中，一个尤为典型的系统性失效模式，便源于光刻环节的Reticle（光罩）。当Reticle本身存在污染、划伤或设计瑕疵时，或当光刻机在步进重复曝光过程中出现参数漂移（如焦距不准、曝光能量不均）时。这些因Reticle问题而产生的特定区域内的芯片，实质上构成了一个高风险的“潜伏失效群体”。若不能在测试阶段被精确识别并剔除，将直接流向客户端，对产品的长期可靠性与品牌声誉构成严重威胁。识别并处理这类与Reticle强相关的潜在缺陷，是现代高可靠性质量管理中一项极具挑战性的关键任务。

上海伟诺信息科技有限公司在Mapping Over Ink功能中提供了一个Shot Mapping Ink方案，可以将整个Mapping按Reticle大小或是自定义大小的方格，根据设定的算法将整个Shot进行Ink, 从而去除掉因光刻环节的Reticle引起的潜在性失效芯片。通过Shot Mapping Ink方案，用户能够将质量管控的关口从“筛查单个失效芯片”前移至“拦截整个失效风险区域”。这尤其适用于对可靠性要求极严苛的车规、工规等产品，它能极大程度地降低因光刻制程偶发问题导致的批次性可靠性风险，为客户构建起一道应对系统性缺陷的坚固防线。 Mapping Over Ink处理强化封测环节质量防线，拦截潜在失效风险Die。重庆晶圆PAT平台

当封测厂同时部署ETS88、J750、93k、Chroma、STS8200等十余种Tester设备时，每台设备输出的stdf、log、jdf、spd、csv等格式差异常导致数据接入困难。YMS内置多协议解析引擎，可自动识别各类测试平台的数据结构与接口协议，无需定制开发即可完成数据采集与格式转换。系统同步执行重复性检测、缺失字段识别和异常值过滤，确保入库数据准确完整。标准化数据库对所有来源数据统一分类存储，为后续良率分析提供一致基础。这种“即插即用”的兼容能力，明显降低多设备环境下的集成复杂度与维护成本。上海伟诺信息科技有限公司基于半导体制造的实际设备生态，持续优化YMS的适配广度与稳定性。青海半导体Mapping Inkless平台Mapping Over Ink处理系统在质量事件发生时自动触发设备维护工单，实现预防性维护。

晶圆边缘区域良率持续偏低却难以定位原因，是工艺工程师常见的痛点。YMS系统在完成stdf、log等原始数据清洗后，依据晶圆空间坐标对缺陷进行分类，生成色彩渐变的热力图，直观呈现中心、过渡区与边缘的缺陷密度差异。用户可对比不同批次在同一区域的表现，识别是否为光刻对焦偏差或刻蚀均匀性问题所致。叠加时间维度后，还能判断该现象是偶发异常还是系统性漂移。这种空间+时间的双维分析，使优化措施从“整体调整”转向“精确干预”，明显提升工艺调试效率。上海伟诺信息科技有限公司基于半导体制造的实际需求，将YMS打造为缺陷定位的可视化利器。

良率异常若依赖人工逐项排查，常需跨多个系统比对数据，耗时且易遗漏关键线索。YMS自动汇聚来自Chroma、STS8200、ASL1000等平台的测试结果，构建统一数据库，并以热力图、趋势曲线等形式直观展示缺陷分布与良率波动。当某批次FT良率下降时，工程师可快速调取对应CP参数与晶圆区域热图，判断是否为特定象限的打线偏移所致。WAT参数的同步关联更可追溯至前道工艺漂移。这种“一站式”可视化分析，使根因定位从数天缩短至数小时内，大幅减少试错成本。上海伟诺信息科技有限公司依托多维数据整合能力，让YMS成为快速响应质量问题的关键工具。Mapping Over Ink处理后的数据完整支持回溯为原始Probe格式，满足客户审计需求。

当CP良率骤降而FT失败模式复杂时，只靠单一测试阶段数据难以归因。YMS系统将WAT、CP与FT参数统一纳入分析框架，建立跨阶段关联模型。例如，若某批次WAT中栅氧击穿电压偏移，同时CP漏电流异常升高，YMS可自动关联两者趋势，提示前道氧化工艺可能存在波动。图形化界面支持并排查看参数曲线与良率变化，快速锁定关键影响因子，避免在封装或测试环节盲目排查。这种端到端的根因分析能力，将问题诊断周期从数天缩短至数小时，减少试产浪费。上海伟诺信息科技有限公司通过深度整合多源测试数据，使YMS成为良率攻关的关键工具。Mapping Inkless特别适用于洁净度要求高的车规级场景，保障晶圆表面完整性。青海半导体Mapping Inkless平台

Mapping Over Ink处理助力国产软件生态建设，推动技术自主可控。重庆晶圆PAT平台

良率管理的目标是将海量测试数据转化为可执行的工艺洞察。YMS系统通过自动化采集来自各类Tester平台的多格式数据，完成端到端的数据清洗与整合，消除人工干预带来的误差与延迟。在此基础上，系统构建标准化数据库，支持从批次级到晶圆级的多维度缺陷分析，例如识别某一时段内边缘区域良率骤降是否与刻蚀参数漂移相关。结合WAT、CP、FT数据的交叉验证，可区分设计缺陷与制造偏差，缩短问题排查周期。SYL与SBL的自动计算与实时卡控，为关键指标设置动态防线。周期性报告一键生成并支持PPT、Excel、PDF导出，使管理层能基于一致数据源快速决策。这种从数据到行动的闭环机制，明显提升了生产过程的可控性与响应速度。上海伟诺信息科技有限公司以打造中国半导体软件生态为使命，持续推动YMS成为行业提质增效的基础设施。重庆晶圆PAT平台

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