冷阴极真空计（ColdCathodeGauge，如潘宁计）原理：基于高压电场与磁场协同作用下的气体放电效应。结构包含两个阴极和一个阳极，外加轴向磁场。高压电场使阴极发射电子，电子在磁场中螺旋运动，增加与气体分子的碰撞概率，导致电离。电离产生的正离子被阴极捕获，形成离子电流，其大小与气体分子密度成正比。特点：量程：通常为10−6Torr至10−3Torr，适合中高真空。优点：无加热元件，结构简单、寿命长。对振动不敏感（适合航天等恶劣环境）。局限性：低真空下响应慢（需足够残余气体维持放电）。测量结果可能受磁场均匀性影响。本质区别总结类型**物理效应信号来源适用量程对气体种类敏感性皮拉尼计热传导效应金属丝电阻变化低真空至中真空高（需校准）热阴极电离计气体电离效应离子电流高真空至超高真空低（可忽略）冷阴极计（潘宁）高压电场+磁场放电效应离子电流中高真空低。 部分高精度薄膜真空计是间接测量，只有压力为105～lOPa时，可直接测单位面积所受的力。质量真空计量大从优
技术参数播报编辑根据2012年发布的ZDF-1A/B型说明书，热偶真空计、热阴极电离真空计及金属电阻规三种测量通道组合构成，覆盖105~10-6Pa的真空范围测量，主要技术指标包括 [1]：热偶规测量范围：3.0×10²~1.0×10⁻¹Pa（ZJ-54D型）电离规测量范围：5~1.0×10⁻⁶Pa（ZJ-27型）或26~1.0×10⁻⁴Pa（ZJ-10型）发射电流调节范围：50μA至5mA阳极电压：225V（ZDF-1A型）继电器触点容量：220V AC/3A。使用复合真空计需遵循特定操作要求 [1]：真空系统放气前必须切换至热偶计或电阻规通道，防止电离规管暴露于高压空气电离规灯丝只能在压强低于1Pa时启动，避免氧化烧毁定期校准热偶规加热电流，标准值为95-105mA（具体数值依据规管型号）安装时电离规管轴线应与地面垂直，倾斜角度不得超过30°服务真空计拆装相对真空计能直接读出被测压力，但是测量精度较低，测量结果与被测气体种类和成分有关！
热偶真空计◇工作原理与测量范围热偶真空计使用热丝与热电偶组合间接测量真空度。其测量范围在10-2至103Pa之间。热偶真空计包含加热灯丝与热电偶，通过测量热偶电动势来确定真空度。在测量过程中，灯丝通以恒定电流，热量的部分会在灯丝与热偶丝之间传导。影响测量结果的因素热偶真空计的测量结果受气体种类及温度变化影响。此外，热丝可能会因氧化导致零点漂移，从而带来测量误差。因此，在进行测量时，需根据气体种类进行相应的修正，使用者应定期调整加热电流，并重新校正电流值。
3.皮拉尼真空计皮拉尼真空计是一种电阻式真空计，其工作原理是利用气体分子的热传导作用对细金属丝（通常为铂丝）的温度产生影响，从而改变其电阻值。皮拉尼真空计适用于低真空和中真空范围的测量，具有结构简单、价格低廉、响应速度快等优点。综上所述，不同类型的真空计各有其特点和适用情境。在选择真空计时，应根据实际需求综合考虑测量范围、精度、稳定性、便携性以及价格等因素。希望本文的介绍能对读者在选用真空计时提供有益的参考随着真空技术的普及，大量应用于单晶炉设备，真空计满足光伏行业基础单晶硅生产。
真空压力计是一种用于测量真空度或真空压力的仪器，广泛应用于各个工业领域和科研环境中。以下是对真空压力计的详细介绍：一、定义与原理真空压力计通过测量***压力与大气压力之差来确定真空度。在真空状态下，***压力低于大气压，因此真空压力计测量的实际上是这种压力差，通常以负值表示。其工作原理可能涉及多种物理现象，如热传导、电离、机械变形等，具体取决于真空压力计的类型。薄膜真空计：利用薄膜在真空压力作用下的变形来测量真空度，如电容式薄膜真空计。U型管真空计：使用历史**长、结构**简单的测量压力的仪器，通过U型管两端的液面差来指示真空度。数字式真空压力计：能够直接读取数字显示的压力值，操作便捷，且具有高精度和稳定性真空计测量范围压力测量中，除极少数直接测量外，绝大多数是间接测量。保时安真空计收购价
使用电离规时，按电离真空计操作执行。质量真空计量大从优
不同类型真空计（如皮拉尼、电离、冷阴极）的**区别在于其测量原理基于的物理效应不同，这些效应决定了它们的适用范围、精度、响应速度及对气体种类的敏感性。以下是具体分析：1.皮拉尼真空计（PiraniGauge）原理：基于热传导效应。传感器为金属丝（如钨或铂），通电后发热。气体分子密度（即真空度）影响热传导效率：高真空时，气体分子少，热传导主要依赖残余气体，金属丝温度较高，电阻增大。低真空时，气体分子多，热传导增强，金属丝温度降低，电阻减小。通过测量金属丝电阻变化推算真空度。特点：量程：通常为10质量真空计量大从优
