半导体光学铝发展趋势

微晶铝合金是一种具有特殊微观结构的铝合金材料。在传统的铝合金中，晶粒（即金属内部的晶体单元）的大小和分布可能相对较大且不均匀，这会影响材料的整体性能。晶粒尺寸的减小使得材料内部界面增多，有利于阻碍裂纹的扩展，从而提高材料的强度和韧性。晶粒分布更加均匀，减少了因晶粒大小不均而引起的性能差异，使得材料的整体性能更加稳定。由于晶粒细小且均匀，微晶铝合金通常具有较高的强度、硬度、韧性和疲劳抗力，这使得它在需要承受高应力和高循环载荷的应用中表现出色。微晶铝合金在加工过程中也表现出较好的塑性和可加工性，有利于制造形状复杂、精度要求高的零部件。细小的晶粒有助于形成更致密的表面层，减少腐蚀介质的渗透，从而提高材料的耐腐蚀性。RSA - 905 荷兰铝，适合精密抛光加工。半导体光学铝发展趋势

极紫外光刻（英语：Extremeultra-violet，也称EUV或EUVL）是一种使用极紫外（EUV）波长是下一代光刻技术，其波长为13.5纳米，预计将于2021年得到广泛应用。几乎所有的光学材料对13.5nm波长的极紫外光都有很强的吸收，因此，EUV光刻机的光学系统只有使用反光镜。我们上海微联实业的RSA905铝合金材料正是适合做反射镜的材料，很好得避免了材料吸收紫外线的问题。增大紫外线的反射率。RSP铝合金的微晶结构使其可以应用在空间观测设备上。在空间的低温环境下，铝合金反射镜与其安装的支撑结构的金属材料的膨胀系数接近。，降低其膨胀系数不匹配的影响，可以避免了光机系统材料膨胀系数不一致带来的热应力和应变。保证其光学系统参数长期稳定在一个范围值内。RSP铝合金可以用现有的车，磨，铣等工艺快速制作加工反射镜基本结构，充分发挥铝合金材料易成型的特点。同时可以用单点金刚石车削工艺加工反射镜镜面。可以直接获得满足光学系统成像质量高的光滑表面。RSP铝合金的抗疲劳性好，在航空航天材料应用中有良好的性价比。光学铝功效光学铝成分均匀韧性好。

在卫星和空间探测器的制造中，RSP 铝合金同样发挥着重要作用。卫星和空间探测器在太空中面临着极端的温度变化、辐射环境以及微流星体撞击等挑战。RSP 铝合金的低膨胀系数使其能够在温度大幅波动的太空环境中保持部件尺寸的稳定性，确保卫星和探测器上的精密仪器正常工作。其良好的耐腐蚀性和抗辐射性能也有助于提高设备在恶劣太空环境下的可靠性和使用寿命 。例如，在卫星的结构框架、太阳能电池板支架以及探测器的光学系统支撑结构等部件中，都可以采用 RSP 铝合金 。

独特的快速凝固熔纺工艺赋予了 RSP 铝合金一系列优异的性能。首先，细化的晶粒结构显著提高了材料的强度和硬度。根据 Hall - Petch 关系，晶粒尺寸越小，晶界面积越大，位错运动越容易受阻，从而使材料强度提高。例如，部分 RSP 铝合金的强度可与钛合金相媲美，远远超过传统铝合金的强度水平（传统铝合金的比较大强度一般不超过 550MPa，而部分 RSP 铝合金强度可达 750MPa 及以上） 。其次，由于快速凝固过程抑制了成分偏析，使得合金成分更加均匀，提高了材料的韧性和抗疲劳性能。再者，通过调整合金成分和快速凝固工艺参数，可以精确控制合金的热膨胀系数、硬度、耐磨性等性能，满足不同应用领域的特殊需求 。光学铝为多行业供轻量化方案。

上海微联实业的高性能纳级米结构铝合金，主推有三个牌号：RSA-6061，RSA-443，RSA-905，都可以广泛应用于光学行业。如：反射镜：使用RSA系列的微晶铝，代替普通的6061，可以得到更好的表面加工质量，表面光洁度可以提高4倍。RSA-443可以用作镀镍反射镜基体，没有双金属效应，可以做大尺寸的反射镜和带复杂结构的一体镜子；RSA-905可以通过抛光达到RMS＜1nm。此外模具和模仁的应用：RSA-905可以直接用作模仁，无需镀镍及后续加工，和镀镍模具相比寿命提高100%。快速凝固的光学铝很独特。如何分类光学铝合成技术

光学铝热机稳定抗疲劳佳。半导体光学铝发展趋势

在快速凝固过程中，合金元素的固溶度有效增加，形成了特殊的相分布。一些在传统凝固条件下难以溶解的合金元素，在快速凝固的 RSP 铝合金中能够均匀地固溶在基体相中，或者形成细小弥散的第二相粒子。这些细小弥散的第二相粒子通过弥散强化机制进一步提高了材料的强度和硬度。例如，在某些含有硅元素的 RSP 铝合金中，硅原子在快速凝固过程中形成了均匀分布的细小硅颗粒，这些硅颗粒有效地阻碍了位错运动，从而显著提高了材料的力学性能 。半导体光学铝发展趋势