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极紫外光刻（英语：Extremeultra-violet，也称EUV或EUVL）是一种使用极紫外（EUV）波长是下一代光刻技术，其波长为13.5纳米，预计将于2021年得到广泛应用。几乎所有的光学材料对13.5nm波长的极紫外光都有很强的吸收，因此，EUV光刻机的光学系统只有使用反光镜。我们上海微联实业的RSA905铝合金材料正是适合做反射镜的材料，很好得避免了材料吸收紫外线的问题。增大紫外线的反射率。RSP铝合金的微晶结构使其可以应用在空间观测设备上。在空间的低温环境下，铝合金反射镜与其安装的支撑结构的金属材料的膨胀系数接近。，降低其膨胀系数不匹配的影响，可以避免了光机系统材料膨胀系数不一致带来的热应力和应变。保证其光学系统参数长期稳定在一个范围值内。RSP铝合金可以用现有的车，磨，铣等工艺快速制作加工反射镜基本结构，充分发挥铝合金材料易成型的特点。同时可以用单点金刚石车削工艺加工反射镜镜面。可以直接获得满足光学系统成像质量高的光滑表面。RSP铝合金的抗疲劳性好，在航空航天材料应用中有良好的性价比。

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